Фотоника #4/2016
А.Полещук, В.Хомутов, А.Маточкин, Р.Насыров, В.Черкашин
Лазерные интерферометры для контроля формы оптических поверхностей
Представлен обзор современных лазерных интерферометров, предназначенных для контроля формы оптических поверхностей, и проведен их анализ. Рассмотрены методы контроля формы сферических и асферических поверхностей на основе применения компьютерно-синтезированных голограмм в сочетании с лазерными интерферометрами. Рассмотрены ключевые особенности и отличительные черты интерферометра модели ФТИ-100. DOI:10.22184/1993-7296.2016.58.4.38.50