Фотоника #2/2015
В. Кондратенко, А. Зобов, А. Наумов, Лу Хунг-Ту
Технология прецизионной лазерной резки сапфировых пластин
Статья раскрывает особенности новой технологии резки приборных пластин на кристаллы методом лазерного управляемого термораскалывания (ЛУТ). Приведены результаты экспериментальных исследований по лазерной резке сапфировых пластин на кристаллы для светоизлучающих диодов (СИД) с использованием СО2- и УФ-лазера.