Фотоника #1/2013
Ф.Бахманн, Д.Мюллер, Б.Климт, Р.Кнаппе
Микрообработка материалов пикосекундными лазерами
Пикосекундные лазеры готовы изменить мир микрообработки. Благодаря своему непревзойденному качеству пикосекундные (PS) лазеры позволяют выйти на новый уровень точности микрообработки в различных промышленных приложениях – микроэлектронике, полупроводниковой и фотоэлектрической индустрии. Самые мощные PS-лазеры компании LUMERA Laser семейства RAPID в зависимости от конкретного применения имеют разные значения мощности и частоты следования импульсов. Импульсы длительностью менее 15 пс позволяют избежать нежелательных тепловых эффектов. С помощью этих лазеров за одну минуту можно удалить 10 мм3 любого твердого труднообрабатываемого материала. А скорость абляции стекла при обработке PS-импульсами превышает 50 мм3 в минуту.