Фотоника #2/2024
М. С. Ковалев, И. М. Подлесных, К. Э. Певчих, С. И. Кудряшов
Планарная фотоника ближнего инфракрасного диапазона на основе сверхлегированного кремния: перспективы
DOI: 10.22184/1993-7296.FRos.2024.18.2.136.151 Появление кремниевой фотоники за последние два десятилетия создало условия для того, чтобы кремний стал предпочтительной платформой для фотонной интеграции. В этом обзоре мы предлагаем наш взгляд на растущую область интегральной фотоники ближнего инфракрасного диапазона на кремнии и перспективные технологии обеспечения этого роста. Представлен комплексный обзор современного состояния таких ключевых фотонных устройств, как волноводы, источники света и детекторы.