Фотоника #1/2024
А. Х. Хисамов, М. В. Назаренко, С. В. Зайцев
Нанесение алмазоподобных (DLC) покрытий на оптические детали
DOI: 10.22184/1993-7296.FRos.2024.18.1.40.47 Представлен обзор практического использования алмазоподобных покрытий на оптических деталях и проанализированы их преимущества, включая высокую твердость, химическую инертность и низкий коэффициент трения. Определены проблемы, связанные с адгезией и напряжениями, возникающие при использовании DLC-пленок для защиты многослойных ИК-покрытий и других материалов. Описаны возможные решения этих проблем и методы оптимизации качества и свойств DLC-покрытий. Для улучшения долговечности многослойных ИК-покрытий, а также для расширения области их применения разработаны эффективные методы повышения адгезии и снижения напряжений в DLC-пленках. Результаты могут быть использованы в различных промышленных отраслях.