Фотоника #7/2021
М. А. Завьялова, П. С. Завьялов, М. В. Савченко
Экспериментальные исследования волоконного конфокального датчика на основе метода хроматического кодирования
DOI: 10.22184/1993-7296.FRos.2021.15.7.598.609 В работе представлены результаты экспериментальных исследований волоконного конфокального датчика на основе метода хроматического кодирования с разработанными гибридными рефракционно-дифракционными и гиперхроматическими объективами. Данный датчик позволяет определять положение контролируемых поверхностей с высоким разрешением (погрешность не превышает 0,1–1 мкм) на рабочих отрезках от 20 до 220 мкм.