Фотоника #1/2022
А. В. Якухина, В. В. Светухин, А. С. Кадочкин
Сравнение влияния технологических факторов на добротность мезаструктур оптических резонаторов, изготовленных по кремниевой технологии
DOI: 10.22184/1993-7296.FRos.2022.16.1.10.20 Представлены результаты исследования влияния величины шероховатости поверхности световодного слоя на величину добротности мезаструктур оптических резонаторов, работающих в режиме мод шепчущей галереи (МШГ), изготовленных с использованием кремниевой технологии. В качестве материала световодного слоя исследованы два варианта: SiO2 и Si. Проведено исследование влияния величины шероховатости боковой поверхности световодного слоя на величину добротности для каждого варианта структуры. Величина шероховатости боковой поверхности световодного слоя исследовалась при помощи АСМ и РЭМ. Для мезаструктур оптических резонаторов со световодным слоем как из Si, так и из SiO2 в результате оптимизации базовых технологических процессов удалось достичь снижения величины шероховатости с 30–40 нм до 1–3 нм. Проведенная путем численного моделирования оценка показала, что добротность оптических резонаторов со световодным слоем из SiO2 может быть достигнута 109 за счет снижения шероховатости боковой поверхности световодного слоя.
Фотоника #3/2021
А. Б. Устинов, И. Ю. Таценко, А. А. Никитин, А. В. Кондрашов, А. В. Шамрай, А. В. Иванов
Принципы построения оптоэлектронных СВЧ генераторов
DOI: 10.22184/1993-7296.FRos.2021.15.3.228.237 Статья знакомит читателей с принципами создания оптоэлектронных СВЧ-генераторов. Не претендуя на полноту охвата, авторы анализируют основные типы генераторов, классифицируя их по принципу действия. Кратко рассмотрены физические процессы, лежащие в основе работы различных типов генераторов. Приведено сравнение характеристик генераторов.