Фотоника #2/2012
Лазерная интерференционная микроскопия для нанотехнологий
Лазерная интерференционная микроскопия для нанотехнологий
Рассмотрены измерительные характеристики модуляционного интерференционного микроскопа МИМ-300. Инструмент предназначен для использования в производстве электронных компонентов, магнитных и оптических устройств хранения информации, в биотехнологических исследованиях.