Фотоника #1/2019
И. П. Тарасов, Н. В. Буров, А. Ю. Пищалов
Идентификация и настройка геометрических и динамических ошибок
В областях производства, где речь идет о микро- и нанометровых значениях (лазерная резка, скрайбирование, литография, голография, 3D-принтинг, аддитивные технологии и т. д.), чрезвычайно важно обеспечить стабильность и повторяемость значений геометрических и динамических ошибок инструментального оборудования в ходе технологического процесса. В частности, основными параметрами, характеризующими качество механических позиционеров, являются: точность, двухсторонняя повторяемость, ошибка отслеживания и время затухания. Для эффективного управления движением и получения точной геометрии изделия необходимо обеспечить высокочастотное селективное векторное управления током и провести селективную калибровку статических ошибок позиционера. В статье проанализирован один из способов уменьшения значений ошибок и повышения качественных параметров позиционера. DOI: 10.22184/1993-7296.FRos.2019.13.1.24.28