Фотоника #3/2018
Т. С. Лисовский
Современные методы измерения оптических характеристик тонкопленочных покрытий
Представлены результаты новейших разработок в области метрологического обеспечения измерений оптических характеристик тонкопленочных покрытий в широком диапазоне электромагнитного спектра от 185 нм до 5200 нм. Показаны технические решения для проведения автоматических измерений коэффициентов пропускания и абсолютного зеркального отражения плоскопараллельных деталей и призм. Представлены результаты реальных измерений покрытий с предельными характеристиками. DOI: 10.22184/1993-7296.2018.71.3.346.351