Тег "вакуумное оборудование"
Наноиндустрия #3-4/2022 Ю.В.Панфилов, Л.Л.Колесник ПРИВНОСИМАЯ ДЕФЕКТНОСТЬ ПРИ ФОРМИРОВАНИИ НАНОСТРУКТУР В ВАКУУМЕ
DOI: 10.22184/1993-8578.2022.15.3-4.224.231 Проанализированы основные источники привносимой дефектности изделий микро- и наноэлектроники в вакуумном технологическом оборудовании кластерного типа. Рассмотрены механизмы формирования потоков мелкодисперсных частиц в шлюзовых и технологических вакуумных камерах, молекулярных загрязнений и следов металлов в результате изнашивания конструкционных материалов и трибодесорбции.
Наноиндустрия #2/2016 К.Вавилин, Е.Кралькина, П.Неклюдова, А.Петров, А.Никонов, В.Павлов, А.Айрапетов, В.Одиноков, Г.Павлов, В.Сологуб Геликонный источник как элемент гибридной плазменной системы в установках для нанесения тонкопленочных покрытий с управляемой наноструктурой
Представлены результаты разработки и оптимизации параметров экспериментальной установки для нанесения покрытий из различных материалов, выполненной на основе гибридной плазменной системы, которая состоит из магнетронного и вакуумно-дугового распылительных источников, а также ассистирующего геликонного источника. DOI:10.22184/1993-8578.2016.64.2.74.86
Наноиндустрия #2/2016 В.Башков, Ю.Миронов, Ю.Панфилов, А.Миронова, Н.Седых, Л.Колесник, С.Маринич, А.Селезнев Установка для электронно-лучевой плавки, сварки и размерной обработки электровакуумного стекла
Рассмотрена конструкция установки для электронно-лучевой плавки, сварки и размерной обработки электровакуумного стекла. DOI:10.22184/1993-8578.2016.64.2.66.72
Наноиндустрия #8/2014 С.Нестеров Вакуумные технологии для наноиндустрии
Вакуумная техника, криогенная техника и нанотехнология – три кита, на которых держится мир высоких технологий. Тематика докладов IX Международной конференции, которая прошла в 2014 году в Москве, полностью соответствовала этому девизу.
Наноиндустрия #7/2014 Новые разработки и комплексные услуги в области нанесения покрытий
На семинаре компаний Beneq и "ЭСТО-Вакуум" ученые, разработчики и эксперты обсудили свойства метода атомно-слоевого осаждения, возможности промышленного и исследовательского оборудования компании Beneq, проблему внедрения новых технологий в промышленность, а также преимущества автоматизированного вакуумного технологического оборудования компании "ЭСТО-Вакуум" для напыления, травления и осаждения различных материалов.
Наноиндустрия #6/2014 Д.Гудилин Электроника, вакуумная техника и наноинженерия
В 2014 году исполнилось 75 лет первым в нашей стране разработкам оборудования для производства электровакуумных приборов, которые были выполнены студентами МГТУ им. Н.Э. Баумана. С тех времен и до сегодняшних дней выпускники одного из ведущих отечественных технических вузов неизменно играют важнейшую роль в развитии электроники, а также вакуумной техники.
Наноиндустрия #2/2013 М.Горчагов, В.Папко, С.Нестеров ЗАО "ИНТЕК АНАЛИТИКА" и его партнеры на российском рынке вакуумного оборудования
ЗАО "Интек Аналитика" представляет вакуумное оборудование ведущих мировых производителей, используемое в нанотехнологиях и в аналитическом материаловедении.
Фотоника #3/2011 С.Тихонов Изобретения в вакууме: гибкость и прозрачность
Компания “Изовак” – одна из наиболее успешных частных компаний, ключевыми областями деятельности которой являются разработка и оптимизация оптических покрытий различной сложности и назначения, разработка и оптимизация перспективных технологий напыления, а также производство установок для вакуумного нанесения тонкопленочных покрытий по спецификациям заказчика. Компания основана в 1991 году, расположена в Минске (Республика Беларусь).
eng
