Фотоника - научно-технический журнал - Материалы тега

главная

eng

Вход

Архив журнала

Журналы

Медиаданные

Редакционная политика

Авторам

Контакты

© 2001-2024
РИЦ Техносфера
Все права защищены
Тел. +7 (495) 234-0110
Оферта

R&W

ISSN 1993-7296 (print)
ISSN 2686-844X (online)

Книги по фотонике

Тег "surface analyzer"

Фотоника #4/2010
П.Игнатьев, А.Лопарев, А.Коршак.
Лазерные 3D-профилометры МИМ

Лазерные профилометры на основе метода модуляционной интерференционной микроскопии (МИМ) используются в неразрушающем контроле топологии полупроводниковых структур. Восстановление геометрического рельефа по фазовому портрету позволяет измерять дефекты топологии сверхгладких структур с разрешением 10–100 нм в плоскости объекта и 0,1 нм по вертикали.