Фотоника - научно-технический журнал - Материалы тега

главная

eng

Вход

Архив журнала

Журналы

Медиаданные

Редакционная политика

Авторам

Контакты

© 2001-2024
РИЦ Техносфера
Все права защищены
Тел. +7 (495) 234-0110
Оферта

R&W

ISSN 1993-7296 (print)
ISSN 2686-844X (online)

Книги по фотонике

Тег "lithography systems market"

Фотоника #4/2010
М.Макушин, В.Мартынов.
Нужен ли России самодельный EUV-нанолитограф?! Техника и экономика современной литографии

В журнале "Фотоника" 2010, №1 была опубликована статья "EUV-нанолитография. Проблемы и перспективы развития" В.Анчуткина, А.Бельского, О.Гущина. Другие авторы, признанные российские эксперты, излагают свою точку зрения на экономические и технологические аспекты развития литографии. С учетом знания реального уровня развития технологий и стратегических задач отечественной микроэлектроники они обсуждают вопрос: какая литография нужна российской электронике?