Фотоника #5/2017
М.А.Завьялова, П.С.Завьялов
Моделирование и расчет гиперхроматических объективов для волоконных конфокальных датчиков поверхности на основе метода хроматического кодирования
Гиперхроматические объективы являются основой конфокальных датчиков поверхности. Сфера применения таких датчиков весьма обширна. Датчики позволяют выполнять как прецизионное позиционирование исполнительных элементов для формирования микро- и наноструктур высокого качества с глубиной до нескольких десятков микрометров, так и измерение их профиля. DOI: 10.22184/1993-7296.2017.65.5.80.90