Фотоника #4/2017
А.А.Будилович, А.Г.Дорошкевич, А.А.Мельников, В.П.Наконечный, А.В.Романович, В.С.Томаль, Т.Г.Шушканова
Автоматизированный комплекс промывки оптических деталей перед нанесением покрытий в вакууме
В статье приведено описание автоматизированного комплекса промывки АКП-3 для финишной промывки крупногабаритных оптических деталей из кварцевого стекла перед нанесением покрытий в вакууме. Приведены технические характеристики комплекса. DOI: 10.22184/1993-7296.2017.64.4.14.20