Наноиндустрия #1/2018
С.Одиноков, Г.Сагателян, К.Бугорков, Е.Дроздова
Закономерности и особенности двухстороннего плазмохимического травления деталей из оптического стекла
Рассмотрено одновременное формирование функционального рельефа на обеих рабочих поверхностях оптических плоскопараллельных пластин при изготовлении дифракционных и голограммных оптических элементов. Исследованы технологические возможности плазмохимического травления стекла с размещением заготовки в объеме плазмы и применением установки диодного типа с вынесенным планарным индуктором. Показано, что ограничивающим качество травления фактором является отвод продуктов химических реакций от обрабатываемой поверхности. УДК 533.924, 621.7-4, 621.9, 67.02, 681.7.026.5; ВАК 05.16.08; DOI: 10.22184/1993-8578.2018.80.1.50.62
Фотоника #2/2017
Н.Л.Истомина, Л.В.Карякина
Optatec-2016: новейшие технологии оптического станкостроения и производства. Часть 2
Предоставлена великолепная возможность наблюдать проникновение инноваций в сфере вакуумной, электронной и фотонной технологий в оптическое станкостроение. DOI: 10.22184/1993-7296.2017.62.2.4.7