eng
Выпуск #1/2014
К.Матл
К.Матл Leybold Optics: оборудование для нанесения сложных многослойных оптических покрытий
К.Матл Leybold Optics: оборудование для нанесения сложных многослойных оптических покрытий
Просмотры: 2922
Господин Матл, расскажите, пожалуйста, о приоритетных направлениях деятельности компании Leybold Optics.
Компания разрабатывает и производит оборудование вакуумного осаждения для широкого спектра приложений. Хотя история компании уходит далеко в середину XIX века, когда Эрнст Лейболд и Вильгельм Карл Хераус основали свои фирмы, их выход на рынок под объединенным брендом Leybold Optics был стратегически верным ходом. В самом начале своей деятельности компания занималась производством вакуумных насосов, позже она поменяла свое научное направление, но накопленные знания, превратившись в выдающиеся ноу-хау, придали развитию компании высокое ускорение именно на рынке оборудования для изготовления функциональных оптических покрытий. В мае 2012 года известный мировой лидер в технологии и производстве оборудования для мукомольных и пивоваренных заводов, переработки РЕТ и литья алюминия под давлением, предприятий по производству продуктов питания и кормов для животных, корпорация Bühler объявила о включении Leybold Optics в свою группу промышленных компаний. Глобальное присутствие Bühler более чем в 140 странах мира еще больше укрепило позиции Leybold Optics на рынке.
Одним из приоритетных направлений деятельности Leybold Optics является технология нанесения многослойных оптических покрытий. Эта технология крайне популярна в решениях оптических задач высокой сложности от фотолитографии в области глубокого ультрафиолета и астрономических телескопов до систем телекоммуникаций и тепловиденья в ИК-диапазоне – современной промышленности требуются широкоспектральные высокоотражающие зеркала, многоволновые светоделители, качественные смотровые окна, отрезающие и узкополосные фильтры, оптические элементы с просветлением, работающие с учетом падения излучения под разными углами. Компания Leybold Optics владеет основными технологиями вакуумного напыления: электронно-лучевым, термическим и магнетронным с ионно-плазменной поддержкой, а также плазменно-химическим. Процессы напыления, которые выполняет выпускаемое фирмой оборудование, полностью автоматизированы, причем помимо самого оборудования, компания предлагает и разработку уникальных производственных технологий. Продукция Leybold Optics сертифицирована в соответствии с DIN EN ISO 9001.
Какое оборудование вашей компании пользуется наибольшей популярностью?
С учетом анализа продаж видно, что самой востребованной продукцией для массового серийного производства на сегодня является установка магнетронного типа с плазменным источником HELIOS (рис.1). Производственная мощность HELIOS определяется вариантом исполнения установки: с держателем подложек на 16 позиций диаметром 100 мм каждая, и на 12 подложек диаметром 200 мм каждая, а также количеством наносимых слоев. Высочайшее качество покрытий достигается за счет бомбардирования поверхности с растущим слоем наносимого вещества, потоком высокоэнергетичных ионов. Компания разрабатывает два типа плазменных источников Advanced Plasma Source (APS). Чем выше энергия частиц, испускаемых источником, тем глубже они внедряются в структуру подложки, улучшая адгезию покрытия, но нельзя забывать, что при этом повышается вероятность дефектообразования. Использование плазмы позволяет также снимать внутренние напряжения и минимизировать шероховатость поверхности покрытий. Так, в установках магнетронного типа с использованием плазмы получают покрытия с шероховатостью Rz = 0,3 нм, а в установках напыления с электронно-лучевым распылением и плазменно-ионной поддержкой Rz = 0,4 нм. Не стоит забывать, что разные шероховатости нужны для решения разных задач. Покрытия изделий, предназначенных для работы в жестких климатических условиях, кроме спектральных характеристик должны обладать еще и стойкостью к истиранию и адгезионной прочностью, поэтому не случайно в конструкцию сложного покрытия часто добавляют адгезионные слои. Для подобных задач в компании разработана установка электронно-лучевого типа семейства SYRUSpro (рис.2) с дополнительной плазменной обработкой покрытий.
Сегодня промышленно осваиваются все новые и новые материалы. Рассматриваете ли вы переход к новым технологиям?
В Leybold Optics построена четкая структура НИОКР: есть группа исследователей, группа инженеров-технологов, программисты, обеспечивающие автоматизацию процесса. Все выполняемые разработки оперативно внедряются в оборудование, которое контролирует скорость, температуру, уровень вакуума и спектральные характеристики растущих слоев покрытия в процессе напыления. С учетом возросшего внимания предприятий оптической промышленности к износостойким покрытиям с выдающимися просветляющими свойствами компания Leybold Optics разработала напылительную установку плазменно-химического осаждения углеродистого покрытия из газовой фазы (рис.3). Мы прогнозируем, что с возникновением более технологичных покрытий для создания сложных оптических деталей в будущем предпочтение все-таки будет отдаваться вакуумному оборудованию, работающему по технологии PIAD (plasma ion assisted deposition).
Спасибо за интересный рассказ.
С К.Матлом беседовала Н.Истомина
Компания разрабатывает и производит оборудование вакуумного осаждения для широкого спектра приложений. Хотя история компании уходит далеко в середину XIX века, когда Эрнст Лейболд и Вильгельм Карл Хераус основали свои фирмы, их выход на рынок под объединенным брендом Leybold Optics был стратегически верным ходом. В самом начале своей деятельности компания занималась производством вакуумных насосов, позже она поменяла свое научное направление, но накопленные знания, превратившись в выдающиеся ноу-хау, придали развитию компании высокое ускорение именно на рынке оборудования для изготовления функциональных оптических покрытий. В мае 2012 года известный мировой лидер в технологии и производстве оборудования для мукомольных и пивоваренных заводов, переработки РЕТ и литья алюминия под давлением, предприятий по производству продуктов питания и кормов для животных, корпорация Bühler объявила о включении Leybold Optics в свою группу промышленных компаний. Глобальное присутствие Bühler более чем в 140 странах мира еще больше укрепило позиции Leybold Optics на рынке.
Одним из приоритетных направлений деятельности Leybold Optics является технология нанесения многослойных оптических покрытий. Эта технология крайне популярна в решениях оптических задач высокой сложности от фотолитографии в области глубокого ультрафиолета и астрономических телескопов до систем телекоммуникаций и тепловиденья в ИК-диапазоне – современной промышленности требуются широкоспектральные высокоотражающие зеркала, многоволновые светоделители, качественные смотровые окна, отрезающие и узкополосные фильтры, оптические элементы с просветлением, работающие с учетом падения излучения под разными углами. Компания Leybold Optics владеет основными технологиями вакуумного напыления: электронно-лучевым, термическим и магнетронным с ионно-плазменной поддержкой, а также плазменно-химическим. Процессы напыления, которые выполняет выпускаемое фирмой оборудование, полностью автоматизированы, причем помимо самого оборудования, компания предлагает и разработку уникальных производственных технологий. Продукция Leybold Optics сертифицирована в соответствии с DIN EN ISO 9001.
Какое оборудование вашей компании пользуется наибольшей популярностью?
С учетом анализа продаж видно, что самой востребованной продукцией для массового серийного производства на сегодня является установка магнетронного типа с плазменным источником HELIOS (рис.1). Производственная мощность HELIOS определяется вариантом исполнения установки: с держателем подложек на 16 позиций диаметром 100 мм каждая, и на 12 подложек диаметром 200 мм каждая, а также количеством наносимых слоев. Высочайшее качество покрытий достигается за счет бомбардирования поверхности с растущим слоем наносимого вещества, потоком высокоэнергетичных ионов. Компания разрабатывает два типа плазменных источников Advanced Plasma Source (APS). Чем выше энергия частиц, испускаемых источником, тем глубже они внедряются в структуру подложки, улучшая адгезию покрытия, но нельзя забывать, что при этом повышается вероятность дефектообразования. Использование плазмы позволяет также снимать внутренние напряжения и минимизировать шероховатость поверхности покрытий. Так, в установках магнетронного типа с использованием плазмы получают покрытия с шероховатостью Rz = 0,3 нм, а в установках напыления с электронно-лучевым распылением и плазменно-ионной поддержкой Rz = 0,4 нм. Не стоит забывать, что разные шероховатости нужны для решения разных задач. Покрытия изделий, предназначенных для работы в жестких климатических условиях, кроме спектральных характеристик должны обладать еще и стойкостью к истиранию и адгезионной прочностью, поэтому не случайно в конструкцию сложного покрытия часто добавляют адгезионные слои. Для подобных задач в компании разработана установка электронно-лучевого типа семейства SYRUSpro (рис.2) с дополнительной плазменной обработкой покрытий.
Сегодня промышленно осваиваются все новые и новые материалы. Рассматриваете ли вы переход к новым технологиям?
В Leybold Optics построена четкая структура НИОКР: есть группа исследователей, группа инженеров-технологов, программисты, обеспечивающие автоматизацию процесса. Все выполняемые разработки оперативно внедряются в оборудование, которое контролирует скорость, температуру, уровень вакуума и спектральные характеристики растущих слоев покрытия в процессе напыления. С учетом возросшего внимания предприятий оптической промышленности к износостойким покрытиям с выдающимися просветляющими свойствами компания Leybold Optics разработала напылительную установку плазменно-химического осаждения углеродистого покрытия из газовой фазы (рис.3). Мы прогнозируем, что с возникновением более технологичных покрытий для создания сложных оптических деталей в будущем предпочтение все-таки будет отдаваться вакуумному оборудованию, работающему по технологии PIAD (plasma ion assisted deposition).
Спасибо за интересный рассказ.
С К.Матлом беседовала Н.Истомина
Отзывы читателей
