В статье дан сравнительный анализ моделей автоколлиматоров, представленных на отечественном рынке. Особое внимание уделяется цифровым автоколлиматорам АК-Ц, производимым предприятием НПК "Диагностика".
Производители и потребители
Для измерений различных оптических деталей микро- и макрооптики, склеек плоской оптики, углов поворота отражающей поверхности, а также для контроля поверочных плит и направляющих станков используются автоколлиматоры (рис.1). На сегодняшний день на российском рынке большинство лабораторий и оптических предприятий применяют визуальные автоколлиматоры производства ОАО "ПО "Новосибирский приборостроительный завод" (например, модели АУ-0.2, АКУ-0.5 и АКУ-1 (рис.2)) [1]. Такая популярность этих приборов связана в основном с их относительно невысокой стоимостью и исторически сложившейся известностью. Данным моделям свойственны типичные для визуальных приборов недостатки: низкая эффективность (обусловлена трудоемкостью юстировки и использованием визуального метода считывания); большая вероятность субъективных ошибок оператора (утомляемость); негативное влияние на зрение оператора визуального считывания; невысокая точность измерений.
В качестве зарубежной альтернативы используются дорогие импортные цифровые автоколлиматоры фирм Trioptics (например, модели TriAngle) [2] или Tailor Hobson (модели серии Elcomat (рис.3)) [3].
Очевидно, что все недостатки работы с визуальными приборами тесно связаны с их зависимостью от физиологических свойств оператора. Понятно также, что современный уровень развития техники предполагает широкое использование компьютера для проведения и обработки различных измерений. Принимая во внимание эти факты, предприятие НПК "Диагностика" разработало серию цифровых автоколлиматоров. Таким образом, несколько лет назад существующий рынок цифровых автоколлиматоров потеснили относительно недорогие отечественные цифровые автоколлиматоры АК-03Ц, АК-05Ц и АК-1Ц [4].
Автоколлиматоры серии АК-Ц (рис.4) внесены в ГосРеестр СИ, имеют Знак качества СИ. Автоколлиматоры, выпускаемые НПК "Диагностика", с успехом используют, например, такие профильные оптические предприятия, как ОАО "ГОИ", ОАО "НИИ ОЭП", ОАО "НПК СПП", ОАО "КНПЗ", а также целый ряд коммерческих организаций. Автоколлиматоры позволяют проводить угловые измерения в автоматическом режиме не только статических, но и динамических объектов. При этом отражающая поверхность объекта измерения может быть различного размера и коэффициента отражения.
Но вернемся к основам основ – к теории автоколлиматоров, после чего детально рассмотрим технические характеристики и критерии оценки современных автоколлиматоров.
Теория расчета и изготовления
При проектировании и изготовлении приборов производитель всегда стремится достичь их теоретической точности. Однако в силу ряда причин реальные приборы, как правило, имеют более низкую точность. Возникновение источников погрешностей зависит от многих факторов. Один из них – теоретическая ошибка прибора, то есть отклонение реальной схемы или метода расчета от строго теоретических. В нашем конкретном случае автоколлиматор свободен от теоретической ошибки. Другой фактор – погрешность, вызванная неточностью изготовления отдельных деталей и конечной точностью юстировочных операций. Как известно, все детали – и оптические, и механические – производят с каким-то отступлением (допуском) от номинального размера (в зависимости от класса точности). При расчете и конструировании прибора учитывают номинальные размеры. Часть ошибок вносится при сборке прибора. По степени влияния на погрешность прибора их можно разбить на две группы: ошибки, которые невозможно исправить при сборке (неравномерность нанесения штрихов на сетках), и ошибки, влияние которых можно существенно уменьшить при юстировке прибора (несогласование масштабов). Конечная точность устранения влияния ошибок задается допуском на юстировку. Таким образом, в собранном и отъюстированном приборе все же присутствует целый ряд факторов (первичных ошибок), которые оказывают влияние на точность работы прибора – точность измерения той или иной величины. Поэтому при расчете очень важно выявить все первичные ошибки, определить степень их влияния на конечный результат через функцию положения механизма и вычислить вероятностную погрешность прибора.
Следует понимать, что после длительной эксплуатации у всех измерительных приборов по различным причинам (небрежное хранение, небрежная работа, естественный износ деталей в процессе эксплуатации, влияние перепада температур и влажность) может измениться точность измерения. Поэтому периодически производится проверка погрешности показания приборов.
Теория измерений
Одним из распространенных и широко известных высокоточных углоизмерительных приборов, используемых в различных областях машиностроения, приборостроения, геодезии и измерительной техники, является автоколлиматор (АК). АК – это оптико-электронный прибор, основанный на явлении автоколлимации. АК используется для точных измерений углового положения зеркала, закрепленного на контролируемом объекте. АК может изпользоваться для контроля прямолинейности и плоскостности направляющих (например, станка). Широкое применение АК в контрольно-измерительных устройствах связано с высокой чувствительностью автоколлимационного метода к незначительным поворотам отражающего зеркала.
Напомним, что автоколлимация – это автоматическое возвращение светового пучка, вышедшего из фокуса объектива, обратно в фокус (то есть объединение в одном приборе коллиматора и зрительной трубы), если за объективом расположено плоское зеркало строго перпендикулярно к оптической оси. При автоколлимации происходит самонаведение посылаемого светового луча оптической системы АК на свою же ось.
Принцип работы автоколлиматора заключается в следующем. В фокальной плоскости М объектива помещается светящаяся марка А (рис.5). Лучи, вышедшие из этой точки, пройдя объектив 2, идут параллельным пучком и попадают на плоское зеркало 1. Если зеркало расположено перпендикулярно оси пучка, то лучи после отражения от зеркала вернутся по тому же самому пути, и, пройдя объектив, образуют изображение, полностью совпадающее со светящейся маркой. Если зеркало наклонится к оси падающего на него пучка лучей на угол α, то отраженный пучок пойдет обратно под углом 2α к первоначальному направлению, и изображение точки А образуется в фокальной плоскости F в точке А´ на расстоянии С от него. Это расстояние можно вычислить по формуле:
C = F tg 2 α.
Если в фокальной плоскости M объектива поместить шкалу, то, зная его фокусное расстояние F, можно рассчитать величину интервалов этой шкалы для любых углов положения зеркала. Величина С для одного деления будет являться интервалом деления 2α – ценой деления при автоколлимационном ходе лучей.
Классификация автоколлиматоров
По количеству координатных направлений, на которых производятся измерения, АК подразделяются на следующие подклассы: однокоординатные, измеряющие угловой поворот объекта в одной плоскости, двухкоординатные, измеряющие угловые повороты в двух взаимно перпендикулярных плоскостях, трехкоординатные, измеряющие дополнительно угол скручивания, и многофункциональные. Чем больше используется координатных направлений, тем сложнее схема и конструкция прибора [5].
По степени участия наблюдателя в измерениях все автоколлиматоры делятся на два класса: визуальные и фотоэлектрические (ФЭАК) [5]. Основные характеристики визуальных АК приведены в [6]. В ФЭАК отсчет основного параметра производится с помощью фотоэлектрических приемников без участия глаза человека, а степень их автоматизации определяется назначением и может быть различной.
Большая часть рассмотренных нами АК – аналоговые устройства, которые не лишены своих недостатков. В аналоговых ФЭАК, как правило, имеются оптические компенсаторы, предназначенные для компенсации смещений изображения. Введение компенсаторов приводит к появлению дополнительных погрешностей.
В цифровых ФЭАК угол поворота контрольного элемента определяется, например, путем подсчета числа стандартных импульсов, заполняющих интервал времени между опорным импульсом и рабочим импульсом, возникающим при попадании на анализатор потока излучения, отраженного контрольным элементом. В последние годы с появлением многоэлементных фотоприемников (ПЗС-линеек и матриц) были разработаны цифровые АК нового поколения.
Принцип действия, конструкции и области применения импортных цифровых ФЭАК наиболее полно отражены в [7, 8], а современных отечественных – в [9]. ФЭАК с ПЗС-матрицами не требует использования компенсаторов и позволяет увеличить диапазон измерений до нескольких градусов. Благодаря более высокой точности и удобству связи с другими узлами измерительного или следящего оптико-электронного прибора ФЭАК с ПЗС-матрицами вытесняют в настоящее время аналоговые АК [10]. Кроме того, цифровые ФЭАК проще согласовать с ЭВМ, чем аналоговые.
Оценим рассмотренные в начале статьи модели автоколлиматоров серии АК-Ц (НПК "Диагностика") по трем основным параметрам: точности, эффективности, экономичности и сравним различные модели автоколлиматоров по их техническим характеристикам (см. таблицу).
Точность
Цифровой автоколлиматор АК-03Ц – это самый точный из всей серии автоколлиматоров АК-Ц. Он соответствует СИ 1 разряда. Высокая точность измерений обеспечивается за счет применения оригинальных алгоритмов обработки информации и высокоточной чувствительной ПЗС-матрицы. С учетом качественного изготовления оптических и механических элементов, цифровой автоколлиматор имеет погрешность измерения ±0,3". Автоколлиматор позволяет эффективно работать с объектами, имеющими малую площадь отражающей поверхности, а также с поверхностями, обладающими низким коэффициентом отражения – на уровне 4%.
Автоматизация статистической обработки многократных измерений обеспечена программным обеспечением "Автоколлиматор" (рис.6). В данном автоколлиматоре среднее квадратическое отклонение (СКО) погрешности измерений не превышает 0,1". По окончании проведения измерений на компьютере выводится таблица с протоколом результатов измерений.
Для минимизации погрешностей (аберраций), создаваемых оптической системой автоколлиматора, осветитель предусмотрительно снабжен красным монохроматическим источником света. Источник света минимизирует внешнее тепловое воздействие и сконструирован на основе суперъяркого светодиода с длиной волны 650 нм.
Следующие по точности – это цифровой автоколлиматор АК-05Ц (погрешность измерения ±0,5") и АК-1Ц (погрешность измерения ±1").
Эффективность
Цифровые автоколлиматоры АК-Ц позволяют контролировать углы и угловые перемещения в широком диапазоне и с высокой точностью, а также обеспечивают решение задач контроля сборки и склейки оптических деталей. Компактность и небольшая масса прибора позволяют снизить затраты на подготовку рабочего места оператора.
За счет непосредственной визуализации процесса измерений (вывод на экран ЭВМ в реальном времени поля зрения автоколлиматора, автоколлимационной марки и численных результатов) и автоматизации процесса вычислений в автоколлиматоре обеспечена высокая скорость измерений и минимизированы субъективные ошибки оператора.
Диапазон измерений автоколлиматоров АК-Ц (угловое поле зрения) – достаточно широк, что обеспечивает дополнительное удобство при начальной юстировке контролируемых деталей и эффективность последующей работы. Интуитивное и наглядное русскоязычное ПО (рис.7) и заложенный в алгоритме работы автоматизированный принцип измерения не потребуют от оператора длительного времени на подготовку и изучение работы прибора.
Экономичность
Автоколлиматоры АК-Ц – полностью отечественные приборы. Качественная механическая сборка узлов прибора и точная юстировка оптических элементов выполняют высококвалифицированные специалисты предприятия. Отработанные технологии изготовления и унификация процессов сборки позволяют установить относительно невысокую рыночную стоимость прибора. Конструкция прибора не требует частого технического обслуживания, поэтому текущие затраты на обслуживание автоколлиматора практически отсутствуют. Несложная подготовка к работе с прибором, компьютерная обработка и съем показаний требует минимального обучения специалистов.
Как правило, изделия, содержащие оптические детали, являются продуктами высоких технологий в оптике. А такие технологии являются ключевыми для многих промышленных задач. Технологические новинки, конечно же, связаны с контрольно-измерительным оборудованием. Автоколлимационные приборы (цифровые автоколлиматоры серии АК-Ц (рис. 8)) производства предприятия НПК "Диагностика" помогут отечественным предприятиям увеличить выход годных изделий, повысить их качество и создать поистине инновационную и конкурентоспособную продукцию.
Приглашаем всех специалистов отрасли ознакомиться с нашей продукцией на предстоящей выставке "Фотоника. Мир лазеров и оптики-2014" 25‒27 марта 2014, Москва, ЦВК "Экспоцентр", Павильон 7, Зал 1. Наш стенд 71B13.
Литература
www.npzoptics.ru
www.trioptics.com
www.moeller-wedel.com
www.diagnostika-spb.ru
Голубовский Ю.Н. Автоколлиматоры. – ОМП, 1970, №5.
Батаян П.В., Коняхин И.А., Панков Э.Д. Контрольные элементы автоколлимационных угломеров с улучшенными метрологическими характеристиками.‒ Оптический журнал,1997, №1.
"Triangle". Каталог компании Trioptics GmbH.
"Elcomat". Каталог компании Moeller-Wedel GmbH
"АК-Ц". Каталог компании НПК "Диагностика".
Коняхин И.А. Развитие оптико-электронных автоколлимационных средств контроля угловых деформаций. ‒ Оптический журнал, 2000, т.67.
Для измерений различных оптических деталей микро- и макрооптики, склеек плоской оптики, углов поворота отражающей поверхности, а также для контроля поверочных плит и направляющих станков используются автоколлиматоры (рис.1). На сегодняшний день на российском рынке большинство лабораторий и оптических предприятий применяют визуальные автоколлиматоры производства ОАО "ПО "Новосибирский приборостроительный завод" (например, модели АУ-0.2, АКУ-0.5 и АКУ-1 (рис.2)) [1]. Такая популярность этих приборов связана в основном с их относительно невысокой стоимостью и исторически сложившейся известностью. Данным моделям свойственны типичные для визуальных приборов недостатки: низкая эффективность (обусловлена трудоемкостью юстировки и использованием визуального метода считывания); большая вероятность субъективных ошибок оператора (утомляемость); негативное влияние на зрение оператора визуального считывания; невысокая точность измерений.
В качестве зарубежной альтернативы используются дорогие импортные цифровые автоколлиматоры фирм Trioptics (например, модели TriAngle) [2] или Tailor Hobson (модели серии Elcomat (рис.3)) [3].
Очевидно, что все недостатки работы с визуальными приборами тесно связаны с их зависимостью от физиологических свойств оператора. Понятно также, что современный уровень развития техники предполагает широкое использование компьютера для проведения и обработки различных измерений. Принимая во внимание эти факты, предприятие НПК "Диагностика" разработало серию цифровых автоколлиматоров. Таким образом, несколько лет назад существующий рынок цифровых автоколлиматоров потеснили относительно недорогие отечественные цифровые автоколлиматоры АК-03Ц, АК-05Ц и АК-1Ц [4].
Автоколлиматоры серии АК-Ц (рис.4) внесены в ГосРеестр СИ, имеют Знак качества СИ. Автоколлиматоры, выпускаемые НПК "Диагностика", с успехом используют, например, такие профильные оптические предприятия, как ОАО "ГОИ", ОАО "НИИ ОЭП", ОАО "НПК СПП", ОАО "КНПЗ", а также целый ряд коммерческих организаций. Автоколлиматоры позволяют проводить угловые измерения в автоматическом режиме не только статических, но и динамических объектов. При этом отражающая поверхность объекта измерения может быть различного размера и коэффициента отражения.
Но вернемся к основам основ – к теории автоколлиматоров, после чего детально рассмотрим технические характеристики и критерии оценки современных автоколлиматоров.
Теория расчета и изготовления
При проектировании и изготовлении приборов производитель всегда стремится достичь их теоретической точности. Однако в силу ряда причин реальные приборы, как правило, имеют более низкую точность. Возникновение источников погрешностей зависит от многих факторов. Один из них – теоретическая ошибка прибора, то есть отклонение реальной схемы или метода расчета от строго теоретических. В нашем конкретном случае автоколлиматор свободен от теоретической ошибки. Другой фактор – погрешность, вызванная неточностью изготовления отдельных деталей и конечной точностью юстировочных операций. Как известно, все детали – и оптические, и механические – производят с каким-то отступлением (допуском) от номинального размера (в зависимости от класса точности). При расчете и конструировании прибора учитывают номинальные размеры. Часть ошибок вносится при сборке прибора. По степени влияния на погрешность прибора их можно разбить на две группы: ошибки, которые невозможно исправить при сборке (неравномерность нанесения штрихов на сетках), и ошибки, влияние которых можно существенно уменьшить при юстировке прибора (несогласование масштабов). Конечная точность устранения влияния ошибок задается допуском на юстировку. Таким образом, в собранном и отъюстированном приборе все же присутствует целый ряд факторов (первичных ошибок), которые оказывают влияние на точность работы прибора – точность измерения той или иной величины. Поэтому при расчете очень важно выявить все первичные ошибки, определить степень их влияния на конечный результат через функцию положения механизма и вычислить вероятностную погрешность прибора.
Следует понимать, что после длительной эксплуатации у всех измерительных приборов по различным причинам (небрежное хранение, небрежная работа, естественный износ деталей в процессе эксплуатации, влияние перепада температур и влажность) может измениться точность измерения. Поэтому периодически производится проверка погрешности показания приборов.
Теория измерений
Одним из распространенных и широко известных высокоточных углоизмерительных приборов, используемых в различных областях машиностроения, приборостроения, геодезии и измерительной техники, является автоколлиматор (АК). АК – это оптико-электронный прибор, основанный на явлении автоколлимации. АК используется для точных измерений углового положения зеркала, закрепленного на контролируемом объекте. АК может изпользоваться для контроля прямолинейности и плоскостности направляющих (например, станка). Широкое применение АК в контрольно-измерительных устройствах связано с высокой чувствительностью автоколлимационного метода к незначительным поворотам отражающего зеркала.
Напомним, что автоколлимация – это автоматическое возвращение светового пучка, вышедшего из фокуса объектива, обратно в фокус (то есть объединение в одном приборе коллиматора и зрительной трубы), если за объективом расположено плоское зеркало строго перпендикулярно к оптической оси. При автоколлимации происходит самонаведение посылаемого светового луча оптической системы АК на свою же ось.
Принцип работы автоколлиматора заключается в следующем. В фокальной плоскости М объектива помещается светящаяся марка А (рис.5). Лучи, вышедшие из этой точки, пройдя объектив 2, идут параллельным пучком и попадают на плоское зеркало 1. Если зеркало расположено перпендикулярно оси пучка, то лучи после отражения от зеркала вернутся по тому же самому пути, и, пройдя объектив, образуют изображение, полностью совпадающее со светящейся маркой. Если зеркало наклонится к оси падающего на него пучка лучей на угол α, то отраженный пучок пойдет обратно под углом 2α к первоначальному направлению, и изображение точки А образуется в фокальной плоскости F в точке А´ на расстоянии С от него. Это расстояние можно вычислить по формуле:
C = F tg 2 α.
Если в фокальной плоскости M объектива поместить шкалу, то, зная его фокусное расстояние F, можно рассчитать величину интервалов этой шкалы для любых углов положения зеркала. Величина С для одного деления будет являться интервалом деления 2α – ценой деления при автоколлимационном ходе лучей.
Классификация автоколлиматоров
По количеству координатных направлений, на которых производятся измерения, АК подразделяются на следующие подклассы: однокоординатные, измеряющие угловой поворот объекта в одной плоскости, двухкоординатные, измеряющие угловые повороты в двух взаимно перпендикулярных плоскостях, трехкоординатные, измеряющие дополнительно угол скручивания, и многофункциональные. Чем больше используется координатных направлений, тем сложнее схема и конструкция прибора [5].
По степени участия наблюдателя в измерениях все автоколлиматоры делятся на два класса: визуальные и фотоэлектрические (ФЭАК) [5]. Основные характеристики визуальных АК приведены в [6]. В ФЭАК отсчет основного параметра производится с помощью фотоэлектрических приемников без участия глаза человека, а степень их автоматизации определяется назначением и может быть различной.
Большая часть рассмотренных нами АК – аналоговые устройства, которые не лишены своих недостатков. В аналоговых ФЭАК, как правило, имеются оптические компенсаторы, предназначенные для компенсации смещений изображения. Введение компенсаторов приводит к появлению дополнительных погрешностей.
В цифровых ФЭАК угол поворота контрольного элемента определяется, например, путем подсчета числа стандартных импульсов, заполняющих интервал времени между опорным импульсом и рабочим импульсом, возникающим при попадании на анализатор потока излучения, отраженного контрольным элементом. В последние годы с появлением многоэлементных фотоприемников (ПЗС-линеек и матриц) были разработаны цифровые АК нового поколения.
Принцип действия, конструкции и области применения импортных цифровых ФЭАК наиболее полно отражены в [7, 8], а современных отечественных – в [9]. ФЭАК с ПЗС-матрицами не требует использования компенсаторов и позволяет увеличить диапазон измерений до нескольких градусов. Благодаря более высокой точности и удобству связи с другими узлами измерительного или следящего оптико-электронного прибора ФЭАК с ПЗС-матрицами вытесняют в настоящее время аналоговые АК [10]. Кроме того, цифровые ФЭАК проще согласовать с ЭВМ, чем аналоговые.
Оценим рассмотренные в начале статьи модели автоколлиматоров серии АК-Ц (НПК "Диагностика") по трем основным параметрам: точности, эффективности, экономичности и сравним различные модели автоколлиматоров по их техническим характеристикам (см. таблицу).
Точность
Цифровой автоколлиматор АК-03Ц – это самый точный из всей серии автоколлиматоров АК-Ц. Он соответствует СИ 1 разряда. Высокая точность измерений обеспечивается за счет применения оригинальных алгоритмов обработки информации и высокоточной чувствительной ПЗС-матрицы. С учетом качественного изготовления оптических и механических элементов, цифровой автоколлиматор имеет погрешность измерения ±0,3". Автоколлиматор позволяет эффективно работать с объектами, имеющими малую площадь отражающей поверхности, а также с поверхностями, обладающими низким коэффициентом отражения – на уровне 4%.
Автоматизация статистической обработки многократных измерений обеспечена программным обеспечением "Автоколлиматор" (рис.6). В данном автоколлиматоре среднее квадратическое отклонение (СКО) погрешности измерений не превышает 0,1". По окончании проведения измерений на компьютере выводится таблица с протоколом результатов измерений.
Для минимизации погрешностей (аберраций), создаваемых оптической системой автоколлиматора, осветитель предусмотрительно снабжен красным монохроматическим источником света. Источник света минимизирует внешнее тепловое воздействие и сконструирован на основе суперъяркого светодиода с длиной волны 650 нм.
Следующие по точности – это цифровой автоколлиматор АК-05Ц (погрешность измерения ±0,5") и АК-1Ц (погрешность измерения ±1").
Эффективность
Цифровые автоколлиматоры АК-Ц позволяют контролировать углы и угловые перемещения в широком диапазоне и с высокой точностью, а также обеспечивают решение задач контроля сборки и склейки оптических деталей. Компактность и небольшая масса прибора позволяют снизить затраты на подготовку рабочего места оператора.
За счет непосредственной визуализации процесса измерений (вывод на экран ЭВМ в реальном времени поля зрения автоколлиматора, автоколлимационной марки и численных результатов) и автоматизации процесса вычислений в автоколлиматоре обеспечена высокая скорость измерений и минимизированы субъективные ошибки оператора.
Диапазон измерений автоколлиматоров АК-Ц (угловое поле зрения) – достаточно широк, что обеспечивает дополнительное удобство при начальной юстировке контролируемых деталей и эффективность последующей работы. Интуитивное и наглядное русскоязычное ПО (рис.7) и заложенный в алгоритме работы автоматизированный принцип измерения не потребуют от оператора длительного времени на подготовку и изучение работы прибора.
Экономичность
Автоколлиматоры АК-Ц – полностью отечественные приборы. Качественная механическая сборка узлов прибора и точная юстировка оптических элементов выполняют высококвалифицированные специалисты предприятия. Отработанные технологии изготовления и унификация процессов сборки позволяют установить относительно невысокую рыночную стоимость прибора. Конструкция прибора не требует частого технического обслуживания, поэтому текущие затраты на обслуживание автоколлиматора практически отсутствуют. Несложная подготовка к работе с прибором, компьютерная обработка и съем показаний требует минимального обучения специалистов.
Как правило, изделия, содержащие оптические детали, являются продуктами высоких технологий в оптике. А такие технологии являются ключевыми для многих промышленных задач. Технологические новинки, конечно же, связаны с контрольно-измерительным оборудованием. Автоколлимационные приборы (цифровые автоколлиматоры серии АК-Ц (рис. 8)) производства предприятия НПК "Диагностика" помогут отечественным предприятиям увеличить выход годных изделий, повысить их качество и создать поистине инновационную и конкурентоспособную продукцию.
Приглашаем всех специалистов отрасли ознакомиться с нашей продукцией на предстоящей выставке "Фотоника. Мир лазеров и оптики-2014" 25‒27 марта 2014, Москва, ЦВК "Экспоцентр", Павильон 7, Зал 1. Наш стенд 71B13.
Литература
www.npzoptics.ru
www.trioptics.com
www.moeller-wedel.com
www.diagnostika-spb.ru
Голубовский Ю.Н. Автоколлиматоры. – ОМП, 1970, №5.
Батаян П.В., Коняхин И.А., Панков Э.Д. Контрольные элементы автоколлимационных угломеров с улучшенными метрологическими характеристиками.‒ Оптический журнал,1997, №1.
"Triangle". Каталог компании Trioptics GmbH.
"Elcomat". Каталог компании Moeller-Wedel GmbH
"АК-Ц". Каталог компании НПК "Диагностика".
Коняхин И.А. Развитие оптико-электронных автоколлимационных средств контроля угловых деформаций. ‒ Оптический журнал, 2000, т.67.
Отзывы читателей