eng
Выпуск #2/2009
А.Рыжкин, В.Илясов, А.Чуларис.
Лазерная микросварка в электронике: опыт использования и перспективы
Лазерная микросварка в электронике: опыт использования и перспективы
Просмотры: 2412
Лазерная микросварка открывает перспективы создания микроэлектронных приборов нового поколения, материалов и покрытий, обладающих повышенными трибологическими свойствами. Для пользователя решающее значение имеет скорость производственного процесса, для исследователя – повышение технологической прочности. Часто решения этих двух задач взаимно противоположны друг другу. Индивидуальный подбор режимов позволит сделать оптимальный выбор.
Тенденции к уменьшению размеров, массы изделий современных микроэлектронных устройств и повышение требований к качеству продукции приводят к новым решениям. Техническая сборка микро- и наносистем базируется на эффектах, возникающих при синтезе материалов методами лазерного воздействия [1]. Причем современный инструментарий позволяет прецизионно воздействовать на объекты. Лазерные и оптические технологии селективно воздействуют на материалы, используя особенности их энергетических спектров. Это расширяет возможности создания материалов и покрытий с заданными функциональными свойствами.
В условиях гибридной лазерно-плазменной обработки материалов возникает особый тип разряда – комбинированный лазерно-дуговой. Он отличается своими свойствами от обычной плазменной дуги и оптического разряда, поддерживаемого лазерным излучением [2]. И это подтверждают результаты математического моделирования процессов взаимодействия сфокусированного лазерного луча с плазмой столба сжатой электрической дуги.
Расчет параметров режима лазерной сварки
При разработке технологии лазерной сварки деталей микроэлектронных изделий учитывалось требование создания качественного контура сварки, покрытие места сварки, условия подачи технологического газа. С учетом геометрических, оптических и энергетических параметров лазерного зонда в ходе многочисленных экспериментов были найдены оптимальные параметры режимов. Так, диаметр лазерного луча на поверхности свариваемых деталей составляет величину порядка dc = 0,3 мм.
Величина максимальной глубины amax проплавления определяется из тепловых условий [3] как:
....................
где Tm, Tb соответствуют температурам плавления и кипения системы. Оказалось, что полученное значение amax превышает требуемую глубину проплавления верхней детали на 0,05 мм и плюс 0,05 мм нижней детали, имеющей толщину 0,08 мм.
Удельная мощность излучения q0 в центре пятна нагрева определяется исходя из неравенства
...................
где Kl [Вт/(см·К)] – теплопроводность. Время, требуемое для достижения температуры Tb в зоне сварки, определяется следующим выражением:
...................
где a – коэффициент температуропроводности, см2/с. Установка "Квант-15", оптическая схема которой представлена в [3], имеет минимальную длительность импульса 1,5·10-3 с, поэтому удельная мощность излучения будет равна 0,4·105 Вт/см2. Тогда энергия импульса проплавления составит величину порядка
...................
Учитывая потери энергии лазерного излучения на отражение Kотр от полированных поверхностей детали (для l = 1,06 мкм, для сталей Kотр = 0,63–0,75), потери в оптической системе резонатора лазера Kси, потери, обусловленные конструктивными особенностями свариваемых деталей Kконстр ≈ 0,80–0,95 и принимая во внимание зависимость энергетических потерь EP от коэффициента потерь Kопт в оптической системе резонатора лазера
....................
Копт = (1–Кстек)n • (1–aпогл)m • (1-Kси),
где Кстек – коэффициент отражения лазерного излучения от поверхности стекла, К = 0,045; Kси – коэффициент потерь энергии лазерного излучения в системе индикации лазера, Kси ≈ 0,08; αпогл – коэффициент поглощения энергии излучения стеклом, αпогл ≈ 0,06; n – количество отражающих поверхностей (для установки "Квант-15" n= 6); m – приведенная толщина стекол оптической системы лазера (для "Квант-15" m = 4 см), получаем, что Kопт = 0,54, а ЕP = 1,06 Дж.
Однако натурные эксперименты при сборке пружинного держателя магнитной головки накопителя (рис.1) лазерной сваркой показали, что соединение формируется с малым проплавлением нижней детали подвески. Причина крылась в неплотном прилегании верхней детали и увеличении скорости стока теплоты в более толстую нижнюю деталь по сравнению с расчетом. Увеличение длительности импульса до 4 мс дало положительный результат. Пересчет удельной мощности излучения при увеличении времени tm до 4 мс дал следующие оценки:
.......................
Установка "Квант-15" позволяет обеспечивать параметры режима лазерной сварки: dc = 0,3 мм, EP ≈ 5 Дж, tu = 4•10-3 c при фокусном расстоянии объектива 50 мм и расходе аргона 0,5–0,7 л/c.
Пружинный держатель магнитной головки состоит из коромысла, пружины и пластины. Коромысло и пружина изготовлены из стальной ленты марки 18ХНФГС толщиной 0,08 мм и 0,05 мм соответственно. Пластина изготовлена из ленты марки 12Х18Н10Т толщиной 0,5 мм. Коромысло соединяется с пластиной пятью сварными точками, а пружина с коромыслом – четырьмя (рис.2). Основной конструктивный параметр – диаметр сварных точек должен быть не менее 0,3 мм согласно конструкторским требованиям. Оптимальный режим лазерной сварки при отработке технологии (табл.1) определяли из условия получения сварной точки заданного диаметра и по результатам испытаний на разрыв (вырыв сварной точки). Анализ данных, представленных в табл.1, показал, что режимы 9 и 10 обеспечивают требуемое качество сварного соединения и необходимый уровень прочности при разрыве. Методика была интегрирована в производство заказчика.
Лазерная микросварка термоэлектродных проволок
При отработке технологии лазерной микросварки термоэлектродных жил (рис.3) кабелей диаметром от 1,6 до 6,0 мм приходилось учитывать особенности сборки конструкции. Дело в том, что необходимо строго придерживаться определенной последовательности операций. Сначала заготовка позиционируется в манипуляторе сварочной установки, зажимается в медной цанге, при этом кабель необходимо расположить под углом 60° и зажать жилы пинцетом. Далее следует включить подачу защитного газа аргона под давлением не менее 0,1 МПа при полностью открытом вентиле ротаметра. А затем одиночными импульсами сварить жилы термоэлектродов с двух сторон, не разжимая пинцета. Были отработаны режимы микросварки, когда, наблюдая в телескоп оптической системы (СОК-1), производили полную расфокусировку лазерного излучения. Одиночные импульсы, оплавляя жилы термоэлектродов, обеспечивают плавные переходы при отсутствии утяжек, подрезов или уменьшения поперечного сечения жил в месте сварки. После этого подачу аргона прекращают.
Оплавленные концы жил не должны иметь пор, раковин, трещин, кратеров, прожогов и шлаковых включений. Ширина перемычки между термоэлектродами должна быть не меньше диаметра термоэлектродных жил. Качество сварки проверяется на микроскопе МБС-9 при восьмикратном увеличении. Проверку электрического контакта между термоэлектродами и величины электрического сопротивления пары термоэлектродных жил на соответствие техническим условиям проводят по стандартизованной методике.
Лазерная микросварка оболочки с донышком
Выбор режимов лазерной сварки проволочных термопар и крышек кабелей (рис.4) определялся условиями, чтобы в зоне замка не образовывался кратер. Методика операции предусматривала предварительное измерение электрического сопротивления изоляции между термоэлектродными жилами и сопротивления между жилами и оболочкой кабеля непосредственно перед лазерной микросваркой оболочки с донышком. Электрическое сопротивление должно быть не менее 109 Ом.
Установив заготовку термопреобразователя в медный цанговый теплоотвод сварочного манипулятора, ее зажимали, чтобы расплавить дно с оболочкой кабеля по всему периметру. При этом необходимо контролировать величину вылета оболочки кабеля над плоскостью зажимной медной цанги, которая должна соответствовать стандарту. Для этого сварку производят в два прохода: первый проход – сварка в режиме одиночного импульса до образования спая, второй проход – переход на частотный режим для осадки спая по высоте (частота следования импульсов излучения – 2,5 Гц). Были найдены оптимальные значения угла α поворота оси термопары относительно лазерного луча.
При проведении микросварки поддерживали постоянную скорость расхода аргона, 0,8–1,0 л/мин, которую контролировали по редуктору-расходомеру АР-10. Использование сварочной проволоки марки Св–40Х23Н32С2Р в качестве материала донышек для термоэлектродов обеспечивает высокую стойкость изделия к образованию горячих трещин. Известно, что величиной энергии выходного излучения лазера можно управлять выбором зарядного напряжения. Поэтому при выборе условий предотвращения образования кратера в зоне замка, чтобы исключить подплавление оболочки термокабеля, следует плавно поворачивать ручку верньера зарядного напряжения. В табл.2 приведены разработанные режимы микросварки.
Создание покрытий с высокой микротвердостью и износостойкостью методами плазменной наплавки
Из опыта известно, что лазерными методами на поверхности деталей, уязвимых к износу и воздействию агрессивных сред, наносят особые покрытия. Поиск оптимальных параметров технологий плазменной наплавки нацелен на создание материалов покрытий. Замечено, что замена никеля железом в качестве основы металломатричного композита (ММК) приводит к повышению износостойкости материала и снижению себестоимости работ. Нами предложена технология нанесения износостойких покрытий (рис. 5) на основе порошковых смесей карбида вольфрама и легированной стали.
Экспериментальный комплекс для нанесения покрытий плазменной наплавкой представлен на рис.6. Плазменная горелка направлена на стальную подложку. При этом в плазменную дугу подаются два порошка: карбида вольфрама и легированной стали при разном процентном соотношении. Дисперсность порошковых частиц составила величину порядка 100 мкм. Смесь порошков, пройдя сквозь дугу, осаждается плазмой на поверхности подложки и образует на ней расплав с твердыми включениями порошка карбида вольфрама. Процесс наплавки осуществляется в защитной атмосфере аргона.
После кристаллизации получаемый композит представляет собой металлическую матрицу с внедренными твердыми частицами. Также были исследованы образцы, в которых к базовой смеси добавлялось 2–3% Ti. Оборудование и структурная схема наплавки, характеризующая технические условия проведения процесса, представлены в работе [4].Изучение фазовых переходов методом рентгеноструктурного анализа [5] позволило установить структуры, которые образуются в условиях описываемого процесса. Анализ показал существование системы Fe-WC-Ti – монокарбид вольфрама, имеющей гексагональную структуру (тип WC),
частично трансформируемой в двойной карбид FeW3C (структуру Лавеса), который затем, в условиях дефицита углерода, переходит в фазы η1-Fe3W3C, η2-Fe6W6C (тип сверхструктуры E93).
Пока исследователи не имеют полного представления о структурных характеристиках и свойствах продуктов химических реакций в изучаемой системе Fe-WC-Ti. Для структурных фаз, обнаруженных в композите, были выполнены теоретические расчеты параметров электронной структуры и определены физические свойства. Это позволило на первом этапе провести расчет микротвердости и износостойкости отдельных фаз, входящих в микроструктуру покрытия. А затем – для самой микроструктуры ММК произвели оценку трибологических свойств (табл.3). Расчетные значения согласуются с положениями, которые и раньше находили экспериментальное подтверждение: чем меньше величина термо-ЭДС, тем выше микротвердость и износостойкость; при уменьшении величины энергии связи, взятой по модулю, снижаются микротвердость и износостойкость.
Как известно [8], при лазерной наплавке перед технологами часто встают две задачи, решения которых взаимно противоположны друг другу: повышение производительности процесса и повышение технологической и эксплуатационной прочности. Отметим, что повышение функциональных свойств изделий предполагает большой объем исследовательских работ по изучению микро- и макроструктуры как в объеме наплавленных слоев, так и на границе с поверхностью детали. Сотрудники регионального ЦКП "ЛиОТ" ЮФО открыто делятся своими разработками, проводят консультационную работу с представителями промышленных предприятий региона, демонстрируя уникальное аналитическое и технологическое оборудование.
Литература
1. Kovalenko V. Laser micro and nano manufacturing. – Proceeding of the Fifth Int. Conf. "Beam Technologies & Laser Application", Sept., 2006, Saint-Peterburg, Russia.
2. Кривцун И. Гибридные лазерно-плазменные процессы обработки материалов и интегрированные плазмотроны для их реализации.– Proceeding of the Fifth Int. Conf. "Beam Technologies & Laser Application", Sept., 2006, Saint-Peterburg, Russia.
3. Технологические лазеры. Справочник.Т.1.
4. Илясов А., Рыжкин А., Илясов В. Технология ремонта, восстановления деталей машин, механизмов, оборудования, инструмента и технологической оснастки. –Материалы 9-й Междунар. практ. конф.-выставки: в 2 ч. Ч. 1. – СПб.: Изд-во Политехн. Ун-та, 2007.
5. Илясов А., Рыжкин А., Илясов В. Особенности фазообразования при кристаллизации расплава системы Fe-W-C после осаждения в потоках плазмы. – Физика и химия обработки материалов, 2007, № 4.
6. Илясов В. Физическая модель износостойкости металломатричных композиционных материалов. – Вестник ДГТУ. 2008, т. 8, № 2.
7. Илясов А. Электронная структура и химическая связь в карбидах, кристаллизующихся в системе Fe-W-C.– Журнал структурной химии, 2008, т. 49, № 5.
8. Григорянц А., Мисюров А., Шиганов И. и др. Исследование технологических особенностей лазерной объемной наплавки. – Proceeding of the Fifth Int. Conf. "Beam Technologies & Laser Application", Sept., 2006, Saint-Peterburg, Russia.
В условиях гибридной лазерно-плазменной обработки материалов возникает особый тип разряда – комбинированный лазерно-дуговой. Он отличается своими свойствами от обычной плазменной дуги и оптического разряда, поддерживаемого лазерным излучением [2]. И это подтверждают результаты математического моделирования процессов взаимодействия сфокусированного лазерного луча с плазмой столба сжатой электрической дуги.
Расчет параметров режима лазерной сварки
При разработке технологии лазерной сварки деталей микроэлектронных изделий учитывалось требование создания качественного контура сварки, покрытие места сварки, условия подачи технологического газа. С учетом геометрических, оптических и энергетических параметров лазерного зонда в ходе многочисленных экспериментов были найдены оптимальные параметры режимов. Так, диаметр лазерного луча на поверхности свариваемых деталей составляет величину порядка dc = 0,3 мм.
Величина максимальной глубины amax проплавления определяется из тепловых условий [3] как:
....................
где Tm, Tb соответствуют температурам плавления и кипения системы. Оказалось, что полученное значение amax превышает требуемую глубину проплавления верхней детали на 0,05 мм и плюс 0,05 мм нижней детали, имеющей толщину 0,08 мм.
Удельная мощность излучения q0 в центре пятна нагрева определяется исходя из неравенства
...................
где Kl [Вт/(см·К)] – теплопроводность. Время, требуемое для достижения температуры Tb в зоне сварки, определяется следующим выражением:
...................
где a – коэффициент температуропроводности, см2/с. Установка "Квант-15", оптическая схема которой представлена в [3], имеет минимальную длительность импульса 1,5·10-3 с, поэтому удельная мощность излучения будет равна 0,4·105 Вт/см2. Тогда энергия импульса проплавления составит величину порядка
...................
Учитывая потери энергии лазерного излучения на отражение Kотр от полированных поверхностей детали (для l = 1,06 мкм, для сталей Kотр = 0,63–0,75), потери в оптической системе резонатора лазера Kси, потери, обусловленные конструктивными особенностями свариваемых деталей Kконстр ≈ 0,80–0,95 и принимая во внимание зависимость энергетических потерь EP от коэффициента потерь Kопт в оптической системе резонатора лазера
....................
Копт = (1–Кстек)n • (1–aпогл)m • (1-Kси),
где Кстек – коэффициент отражения лазерного излучения от поверхности стекла, К = 0,045; Kси – коэффициент потерь энергии лазерного излучения в системе индикации лазера, Kси ≈ 0,08; αпогл – коэффициент поглощения энергии излучения стеклом, αпогл ≈ 0,06; n – количество отражающих поверхностей (для установки "Квант-15" n= 6); m – приведенная толщина стекол оптической системы лазера (для "Квант-15" m = 4 см), получаем, что Kопт = 0,54, а ЕP = 1,06 Дж.
Однако натурные эксперименты при сборке пружинного держателя магнитной головки накопителя (рис.1) лазерной сваркой показали, что соединение формируется с малым проплавлением нижней детали подвески. Причина крылась в неплотном прилегании верхней детали и увеличении скорости стока теплоты в более толстую нижнюю деталь по сравнению с расчетом. Увеличение длительности импульса до 4 мс дало положительный результат. Пересчет удельной мощности излучения при увеличении времени tm до 4 мс дал следующие оценки:
.......................
Установка "Квант-15" позволяет обеспечивать параметры режима лазерной сварки: dc = 0,3 мм, EP ≈ 5 Дж, tu = 4•10-3 c при фокусном расстоянии объектива 50 мм и расходе аргона 0,5–0,7 л/c.
Пружинный держатель магнитной головки состоит из коромысла, пружины и пластины. Коромысло и пружина изготовлены из стальной ленты марки 18ХНФГС толщиной 0,08 мм и 0,05 мм соответственно. Пластина изготовлена из ленты марки 12Х18Н10Т толщиной 0,5 мм. Коромысло соединяется с пластиной пятью сварными точками, а пружина с коромыслом – четырьмя (рис.2). Основной конструктивный параметр – диаметр сварных точек должен быть не менее 0,3 мм согласно конструкторским требованиям. Оптимальный режим лазерной сварки при отработке технологии (табл.1) определяли из условия получения сварной точки заданного диаметра и по результатам испытаний на разрыв (вырыв сварной точки). Анализ данных, представленных в табл.1, показал, что режимы 9 и 10 обеспечивают требуемое качество сварного соединения и необходимый уровень прочности при разрыве. Методика была интегрирована в производство заказчика.
Лазерная микросварка термоэлектродных проволок
При отработке технологии лазерной микросварки термоэлектродных жил (рис.3) кабелей диаметром от 1,6 до 6,0 мм приходилось учитывать особенности сборки конструкции. Дело в том, что необходимо строго придерживаться определенной последовательности операций. Сначала заготовка позиционируется в манипуляторе сварочной установки, зажимается в медной цанге, при этом кабель необходимо расположить под углом 60° и зажать жилы пинцетом. Далее следует включить подачу защитного газа аргона под давлением не менее 0,1 МПа при полностью открытом вентиле ротаметра. А затем одиночными импульсами сварить жилы термоэлектродов с двух сторон, не разжимая пинцета. Были отработаны режимы микросварки, когда, наблюдая в телескоп оптической системы (СОК-1), производили полную расфокусировку лазерного излучения. Одиночные импульсы, оплавляя жилы термоэлектродов, обеспечивают плавные переходы при отсутствии утяжек, подрезов или уменьшения поперечного сечения жил в месте сварки. После этого подачу аргона прекращают.
Оплавленные концы жил не должны иметь пор, раковин, трещин, кратеров, прожогов и шлаковых включений. Ширина перемычки между термоэлектродами должна быть не меньше диаметра термоэлектродных жил. Качество сварки проверяется на микроскопе МБС-9 при восьмикратном увеличении. Проверку электрического контакта между термоэлектродами и величины электрического сопротивления пары термоэлектродных жил на соответствие техническим условиям проводят по стандартизованной методике.
Лазерная микросварка оболочки с донышком
Выбор режимов лазерной сварки проволочных термопар и крышек кабелей (рис.4) определялся условиями, чтобы в зоне замка не образовывался кратер. Методика операции предусматривала предварительное измерение электрического сопротивления изоляции между термоэлектродными жилами и сопротивления между жилами и оболочкой кабеля непосредственно перед лазерной микросваркой оболочки с донышком. Электрическое сопротивление должно быть не менее 109 Ом.
Установив заготовку термопреобразователя в медный цанговый теплоотвод сварочного манипулятора, ее зажимали, чтобы расплавить дно с оболочкой кабеля по всему периметру. При этом необходимо контролировать величину вылета оболочки кабеля над плоскостью зажимной медной цанги, которая должна соответствовать стандарту. Для этого сварку производят в два прохода: первый проход – сварка в режиме одиночного импульса до образования спая, второй проход – переход на частотный режим для осадки спая по высоте (частота следования импульсов излучения – 2,5 Гц). Были найдены оптимальные значения угла α поворота оси термопары относительно лазерного луча.
При проведении микросварки поддерживали постоянную скорость расхода аргона, 0,8–1,0 л/мин, которую контролировали по редуктору-расходомеру АР-10. Использование сварочной проволоки марки Св–40Х23Н32С2Р в качестве материала донышек для термоэлектродов обеспечивает высокую стойкость изделия к образованию горячих трещин. Известно, что величиной энергии выходного излучения лазера можно управлять выбором зарядного напряжения. Поэтому при выборе условий предотвращения образования кратера в зоне замка, чтобы исключить подплавление оболочки термокабеля, следует плавно поворачивать ручку верньера зарядного напряжения. В табл.2 приведены разработанные режимы микросварки.
Создание покрытий с высокой микротвердостью и износостойкостью методами плазменной наплавки
Из опыта известно, что лазерными методами на поверхности деталей, уязвимых к износу и воздействию агрессивных сред, наносят особые покрытия. Поиск оптимальных параметров технологий плазменной наплавки нацелен на создание материалов покрытий. Замечено, что замена никеля железом в качестве основы металломатричного композита (ММК) приводит к повышению износостойкости материала и снижению себестоимости работ. Нами предложена технология нанесения износостойких покрытий (рис. 5) на основе порошковых смесей карбида вольфрама и легированной стали.
Экспериментальный комплекс для нанесения покрытий плазменной наплавкой представлен на рис.6. Плазменная горелка направлена на стальную подложку. При этом в плазменную дугу подаются два порошка: карбида вольфрама и легированной стали при разном процентном соотношении. Дисперсность порошковых частиц составила величину порядка 100 мкм. Смесь порошков, пройдя сквозь дугу, осаждается плазмой на поверхности подложки и образует на ней расплав с твердыми включениями порошка карбида вольфрама. Процесс наплавки осуществляется в защитной атмосфере аргона.
После кристаллизации получаемый композит представляет собой металлическую матрицу с внедренными твердыми частицами. Также были исследованы образцы, в которых к базовой смеси добавлялось 2–3% Ti. Оборудование и структурная схема наплавки, характеризующая технические условия проведения процесса, представлены в работе [4].Изучение фазовых переходов методом рентгеноструктурного анализа [5] позволило установить структуры, которые образуются в условиях описываемого процесса. Анализ показал существование системы Fe-WC-Ti – монокарбид вольфрама, имеющей гексагональную структуру (тип WC),
частично трансформируемой в двойной карбид FeW3C (структуру Лавеса), который затем, в условиях дефицита углерода, переходит в фазы η1-Fe3W3C, η2-Fe6W6C (тип сверхструктуры E93).
Пока исследователи не имеют полного представления о структурных характеристиках и свойствах продуктов химических реакций в изучаемой системе Fe-WC-Ti. Для структурных фаз, обнаруженных в композите, были выполнены теоретические расчеты параметров электронной структуры и определены физические свойства. Это позволило на первом этапе провести расчет микротвердости и износостойкости отдельных фаз, входящих в микроструктуру покрытия. А затем – для самой микроструктуры ММК произвели оценку трибологических свойств (табл.3). Расчетные значения согласуются с положениями, которые и раньше находили экспериментальное подтверждение: чем меньше величина термо-ЭДС, тем выше микротвердость и износостойкость; при уменьшении величины энергии связи, взятой по модулю, снижаются микротвердость и износостойкость.
Как известно [8], при лазерной наплавке перед технологами часто встают две задачи, решения которых взаимно противоположны друг другу: повышение производительности процесса и повышение технологической и эксплуатационной прочности. Отметим, что повышение функциональных свойств изделий предполагает большой объем исследовательских работ по изучению микро- и макроструктуры как в объеме наплавленных слоев, так и на границе с поверхностью детали. Сотрудники регионального ЦКП "ЛиОТ" ЮФО открыто делятся своими разработками, проводят консультационную работу с представителями промышленных предприятий региона, демонстрируя уникальное аналитическое и технологическое оборудование.
Литература
1. Kovalenko V. Laser micro and nano manufacturing. – Proceeding of the Fifth Int. Conf. "Beam Technologies & Laser Application", Sept., 2006, Saint-Peterburg, Russia.
2. Кривцун И. Гибридные лазерно-плазменные процессы обработки материалов и интегрированные плазмотроны для их реализации.– Proceeding of the Fifth Int. Conf. "Beam Technologies & Laser Application", Sept., 2006, Saint-Peterburg, Russia.
3. Технологические лазеры. Справочник.Т.1.
4. Илясов А., Рыжкин А., Илясов В. Технология ремонта, восстановления деталей машин, механизмов, оборудования, инструмента и технологической оснастки. –Материалы 9-й Междунар. практ. конф.-выставки: в 2 ч. Ч. 1. – СПб.: Изд-во Политехн. Ун-та, 2007.
5. Илясов А., Рыжкин А., Илясов В. Особенности фазообразования при кристаллизации расплава системы Fe-W-C после осаждения в потоках плазмы. – Физика и химия обработки материалов, 2007, № 4.
6. Илясов В. Физическая модель износостойкости металломатричных композиционных материалов. – Вестник ДГТУ. 2008, т. 8, № 2.
7. Илясов А. Электронная структура и химическая связь в карбидах, кристаллизующихся в системе Fe-W-C.– Журнал структурной химии, 2008, т. 49, № 5.
8. Григорянц А., Мисюров А., Шиганов И. и др. Исследование технологических особенностей лазерной объемной наплавки. – Proceeding of the Fifth Int. Conf. "Beam Technologies & Laser Application", Sept., 2006, Saint-Peterburg, Russia.
Отзывы читателей
