eng
Выпуск #6/2023
А. М. Тарасов, Д. В. Новиков, Д. В. Горелов, С. С. Генералов, В. В. Амеличев
Формирование черненого алюминия методом вакуум-термического испарения для ИК-излучателей
Формирование черненого алюминия методом вакуум-термического испарения для ИК-излучателей
Просмотры: 572
DOI: 10.22184/1993-7296.FRos.2023.17.6.488.496
Формирование черненого алюминия методом
вакуум-термического испарения для ИК-излучателей
А. М. Тарасов 1, Д. В. Новиков 1, Д. В. Горелов 2, С. С. Генералов 2, В. В. Амеличев 2
Национальный исследовательский университет «МИЭТ», г. Зеленоград, г. Москва, Россия
ФГБНУ НПК «Технологический центр», г. Зеленоград, г. Москва, Россия
Создание материалов, представляющее собой черные покрытия, работающие в ближнем и среднем ИК-диапазонах, является актуальной задачей. Слои таких материалов могут использоваться для улучшения эффективности ИК-излучателей. Одним из перспективных материалов, хорошо согласующимся с МЭМС технологией, является покрытие из черного оксида алюминия. В данной работе представлены результаты формирования слоя черного оксида алюминия методом вакуум-термического испарения, и исследования его поглощающих свойств в ИК-области спектра. Экспериментальные образцы слоев черного оксида алюминия продемонстрировали поглощение в диапазоне от 2,2 до 28 мкм на уровне 84% и показали высокую температурную стабильность до 800 °C.
Ключевые слова: вакуум-термическое испарение, черный алюминий, ИК-Фурье спектроскопия, черные покрытия
Статья получена:10.09.2023
Статья принята: 25.09.2023
Введение
Материалы с низким коэффициентом отражения и высоким поглощением падающего излучения в инфракрасной (ИК) области спектра находят широкое применение во многих областях, особенно в термофотоэлектрических системах [1, 2], системах радиационного охлаждения [3], стелс-технологии [4] и т. д. Особый интерес вызывают функциональные материалы, применяемые в ИК-излучателях. Эмиссионные свойства таких материалов в ИК- области спектра обусловлены их нагревом. В таком применение важным параметром является селективность излучаемого спектра.
Одним из интересных и перспективных материалов является черный оксид алюминия, получаемый методом термического испарения в условиях низкого вакуума.
Такая методика совместима с технологией микроэлектроники, что позволяет снизить издержки на производстве и повысить его технологичность. Методом вакуум-термического испарения (ВТИ) возможно получать слои черного алюминия на любых подложках, включая диэлектрические, без использования дополнительных подслоев. Данная особенность выгодно выделяет ВТИ в сравнении с электрохимическими методами, где необходим проводящий слой (катализатор) для формирования функциональных слоев. Помимо этого, исключаются загрязнения электролитом и внесение структурных изменений в приповерхностные слои подложки. Получаемые слои имеют высокую стабильность, низкий коэффициент отражения и высокое поглощение в ИК-области спектра.
Для повышения эффективности ИК-излучателей применяются материалы, которые имеют высокий коэффициент поглощения в требуемой области спектра. В работе [5] представлено получение слоя, эквивалентного модели излучения абсолютно черного тела. Исследователями были получены слои черной платины методом электрохимического синтеза. Черная платина обладает высоким коэффициентом поглощения в широком диапазоне длин волн, включая ИК-область спектра. Другим примером является работа [6], где демонстрируется многослойная система, состоящая из слоев Ag / ZnS / Si / Ag / Si. Такая система селективно поглощает излучение в диапазоне от 3 до 5 мкм и от 8 до 14 мкм с переизлучением в диапазоне от 5 до 8 мкм.
В данной работе приведена методика формирования слоев черного алюминия методом вакуум-термического испарения. Была получена зависимость толщины слоя от количества нанесенного материала, исследована термостабильность материала и проведены исследования зависимости поглощения ИК-спектра падающего излучения от толщины слоя.
Методики формирования и измерения
Формирование слоя черного алюминия осуществлялось методом вакуум-термического испарения (ВТИ) на установке УРМ‑3279011. В качестве испарителя применялись вольфрамовые стержни длиной 10 см и толщиной 2 мм. Электроды закреплялись вплотную друг к другу в водоохлаждаемые тоководы. В качестве испаряемого материала использовался гранулированный алюминий чистотой 99,99%. Навеска алюминия массой 100 мг помещалась в центр испарителя. Формирование слоя черного алюминия производилось на монокристаллическую кремниевую пластину (100) односторонней полировки со слоем SiO2 толщиной порядка 600 нм. Подложкодержатель с образцами закреплялся над центром испарителей на расстоянии 30 см. Процесс испарения навески проводился при остаточном давлении в камере 5 × 10–2 Торр. Схема установки УРМ‑3279011 представлена на рис. 1.
Измерение поглощения образцов проводилось на ИК-Фурье спектрометре ФСН‑2201 (Инфраспек, Россия) с приставкой зеркального отражения с углом падения излучения 30° в диапазоне от 390 до 4 500 см−1 с шагом 0,1 см−1. Для снятия одного спектра проводилось 10 измерений. Перед каждым измерением снимался спектр сравнения с использованием золотого зеркала. Золотое зеркало было выбрано в качестве эталонного зеркала для ИК-излучения.
Термическая стабильность слоев исследовалась путем нагрева в муфельной печи в воздушной атмосфере. Измерялось поглощение образцов до нагрева и после нагрева. Образцы нагревались до 100 °C со скоростью 600 °C/ч, затем температура выдерживалась в течение 10 минут и из партии изымался один образец. Далее оставшиеся образцы помещались обратно в муфельную печь и нагревались до 200 °C. Цикл повторялся до температуры 800 °C включительно.
Исследование морфологии поверхности образцов производилось на сканирующем электронном микроскопе JEOL JSM 6010plus/la (JEOL Ltd, Япония). Ток пучка составлял 21 пА, ускоряющее напряжение 5 кВ.
Результаты и обсуждения
Исследование поглощения ИК-спектра черным алюминием было проведено на двух группах образцов. В первой группе образцов черный алюминий формировался на полированной стороне кремниевой пластины. Во второй группе формирования слоя покрытия осуществлялось на неполированной стороне. Для каждой группы изготавливалось по 6 образцов, отличающихся количеством операций напыления. Напыления слоев проводились последовательно равными по массе порциями алюминия. С увеличением количества напылений наблюдается рост толщины слоя. При этом зависимость имеет линейный характер. На рис. 2 представлены РЭМ-снимки получаемых слоев после одного и трех процессов напылений толщиной 225 и 780 нм соответственно. На изображениях видно, что полученные слои имеют высокоразвитую морфологию поверхности.
На рис. 3 представлены спектры отражения группы образцов на гладкой стороне кремниевой пластины. Видно, что с увеличением толщины слоя растет общее среднее поглощение. Наибольшее уменьшение интенсивности отраженного ИК-спектра наблюдается после четвертого напыления в диапазоне от 1 850 до 4 500 см−1. Наличие пиков в диапазонах от 1 300 до 1 900−1 и от 3 700 до 3 600–1 можно объяснить адсорбированными газами (СО2) и водой (ОН-группы) на развитой поверхности поглощающего слоя образцов [7]. Пики в районе 2 200–2 400 см−1 характерны для CO2 в воздухе.
Спектры отраженного ИК-излучения, полученные на черном алюминии, сформированным на неполированной поверхности кремниевой подложки, представлены на рис. 4.
Основное отличие от группы образцов на полированной подложке заключается в значительно меньшей интенсивности отраженного излучения. При этом после третьего процесса нанесения слоя черного алюминия увеличение интенсивности поглощения происходит незначительно. Стоит отметить поглощение образцами на неполированной поверхности ИК-излучения в длинноволновой области спектра. Это видно по графику зависимости отражения спектра на 800 см−1 от количества испарений на полированной и неполированной поверхности подложек (рис. 5).
Было исследовано изменение интенсивности отраженного ИК-излучения покрытий образцов после их нагрева. Результаты экспериментов показали, что после операции нагрева, проводимой на воздухе, образцы с покрытием из черного алюминия изменяли свой цвет после достижения температуры величины выше 400 °C. На рис. 6 продемонстрирована хорошо заметная разница в цвете двух образцов, один из которых не прошел операцию нагрева, а другой – нагревали до 800 °C. Образец, который не подвергали нагреву, имеет характерный черный цвет. Это свидетельствует о хорошем поглощении в видимом диапазоне спектра. После нагрева образца пленка черного алюминия приобретает серый цвет.
Исследование влияния температуры нагрева на изменение спектра ИК-поглощения (рис. 7) показало, что спектры поглощения незначительно изменялись при нагреве в диапазоне температурах от 100 до 300 °C. Выше 400 °C наблюдалось уменьшение поглощения в диапазоне от 1 000 см−1 до 2 850 см−1. Далее, с увеличением температуры нагрева, происходило увеличение поглощения в длинноволновой области (от 350 до 1 900 см−1) и увеличение отражения в ближнем ИК-спектре. Такое резкое изменение характера поглощения ИК-спектра может быть обусловлено либо появлением фазового перехода [8], либо изменением морфологии образца.
На рис. 8 представлены РЭМ-изображения слоев до и после операций нагрева до 500 °C. Как видно из рисунка, изменение морфологии поверхности не наблюдается, что может говорить в пользу изменения фазы оксида алюминия. При этом наличие такого эффекта может оказывать положительное влияние из-за роста поглощения в области среднего ИК-излучения.
Выводы
Результаты, полученные в ходе проведенных исследований, позволяют утверждать о наличии потенциала пригодности покрытия в виде слоя черного алюминия, полученного методом вакуум-термического испарения, в качестве эмиссионного покрытия в ИК-излучателях. Данная технология позволяет получать слои различной толщины в диапазоне от 0,2 мкм до 10 мкм в процессе формирования ИК-излучателей. Слои черного алюминия продемонстрировали достаточно хороший уровень поглощение интенсивности среднего ИК-диапазона (84%) и высокую температурную стабильность. Работа будет продолжена и будет направлена на исследование эмиссионных свойств пленок черного алюминия, сформированного на микронагревателе, изготовленного по МЭМС-технологии.
Благодарности
Настоящая статья подготовлена при финансовой поддержке Министерства образования и науки Российской Федерации в рамках выполнения НИР FNRM‑2022-0009.
REFERENCES
Cai L, E J, Li J, Ding J, Luo B. A comprehensive review on combustion stabilization technologies of micro/meso-scale combustors for micro thermophotovoltaic systems: Thermal, emission, and energy conversion. Fuel. 2023;335:126660. https://doi.org/10.1016/j.fuel.2022.126660.
Carstens S, Meyer R, Enke D. Towards Macroporous α-Al2O3—Routes, Possibilities and Limitations. Materials. 2020;13:1787. https://doi.org/10.3390/ma13071787.
He Z, Yan Y, Zhao T, Zhang Z, Mikulčić H. Parametric study of inserting internal spiral fins on the micro combustor performance for thermophotovoltaic systems. Renewable and Sustainable Energy Reviews. 2022;165:112595. https://doi.org/10.1016/j.rser.2022.112595.
Hu J, Li Y, Zhen Y, Chen M, Wan H. n situ FTIR and ex situ XPS/HS-LEIS study of supported Cu / Al2O3 and Cu / ZnO catalysts for CO2 hydrogenation. Chinese Journal of Catalysis. 2021;42:367–75. https://doi.org/10.1016/S1872-2067(20)63672-5.
Qian M., Shi Q., Qin L., Huang J., Guo C., Liu Y. et al. Fabrication of Selective Thermal Emitter with Multilayer Films for Mid-/Low-Temperature Infrared Stealth with Radiative Cooling. Photonics. 2023;10:645. https://doi.org/10.3390/photonics10060645.
Stanca S. E., Hänschke F., Ihring A., Zieger G., Dellith J., Kessler E. et al. Chemical and Electrochemical Synthesis of Platinum Black. Sci. Rep. 2017;7:1074. https://doi.org/10.1038/s41598-017-01040-8.
Zhou Z., Huang J. Mixed design of radar/infrared stealth for advanced fighter intake and exhaust system. Aerospace Science and Technology. 2021;110:106490. https://doi.org/10.1016/j.ast.2021.106490.
Zhu H., Li Q., Tao C., Hong Y., Xu Z., Shen W. et al. Multispectral camouflage for infrared, visible, lasers and microwave with radiative cooling. Nat. Commun. 2021;12:1805. https://doi.org/10.1038/s41467-021-22051-0.
АВТОРЫ
А. М. Тарасов, инж. ПМТ НИУ МИЭТ, Москва, Зеленоград, Россия.
ORCID: 0000-0003-3648-8717
Д. В. Новиков, инж. ПМТ НИУ МИЭТ, Москва, Зеленоград, Россия.
ORCID: 0000-0002-9518-1208
Д. В. Горелов, нач. НИЛ ИОМС НПК «Технологический центр», Москва, Зеленоград, Россия.
ORCID: 0000-0002-0887-9406
С. С. Генералов, нач. НИЛ НМЭМС НПК «Технологический центр», Москва, Зеленоград, Россия.
ORCID: 0000-0002-7455-7800
В. В. Амеличев, к. т. н., нач. МСТ НПК «Технологический центр», Москва, Зеленоград, Россия.
ORCID: 0000-0002-4204-2626
Вклад авторов
Статья подготовлена на основе работы всех членов авторского коллектива: А. М. Тарасов – проведение экспериментов, измерений, анализ собранных данных, обработка и обсуждение результатов; Д. В. Новиков – проведение экспериментов, измерений, анализ собранных данных, обработка и обсуждение результатов; Д. В. Горелов – организация работы, поиск и перевод иностранных источников, обсуждение результатов; С. С. Генералов – организация работы, обсуждение результатов; В. В. Амеличев – организация работы, обсуждение результатов.
Конфликт интересов
Авторы заявляют об отсутствии конфликта интересов. Все авторы приняли участие в написании рукописи в части вклада каждого из них в работу и согласны с полным текстом рукописи.
вакуум-термического испарения для ИК-излучателей
А. М. Тарасов 1, Д. В. Новиков 1, Д. В. Горелов 2, С. С. Генералов 2, В. В. Амеличев 2
Национальный исследовательский университет «МИЭТ», г. Зеленоград, г. Москва, Россия
ФГБНУ НПК «Технологический центр», г. Зеленоград, г. Москва, Россия
Создание материалов, представляющее собой черные покрытия, работающие в ближнем и среднем ИК-диапазонах, является актуальной задачей. Слои таких материалов могут использоваться для улучшения эффективности ИК-излучателей. Одним из перспективных материалов, хорошо согласующимся с МЭМС технологией, является покрытие из черного оксида алюминия. В данной работе представлены результаты формирования слоя черного оксида алюминия методом вакуум-термического испарения, и исследования его поглощающих свойств в ИК-области спектра. Экспериментальные образцы слоев черного оксида алюминия продемонстрировали поглощение в диапазоне от 2,2 до 28 мкм на уровне 84% и показали высокую температурную стабильность до 800 °C.
Ключевые слова: вакуум-термическое испарение, черный алюминий, ИК-Фурье спектроскопия, черные покрытия
Статья получена:10.09.2023
Статья принята: 25.09.2023
Введение
Материалы с низким коэффициентом отражения и высоким поглощением падающего излучения в инфракрасной (ИК) области спектра находят широкое применение во многих областях, особенно в термофотоэлектрических системах [1, 2], системах радиационного охлаждения [3], стелс-технологии [4] и т. д. Особый интерес вызывают функциональные материалы, применяемые в ИК-излучателях. Эмиссионные свойства таких материалов в ИК- области спектра обусловлены их нагревом. В таком применение важным параметром является селективность излучаемого спектра.
Одним из интересных и перспективных материалов является черный оксид алюминия, получаемый методом термического испарения в условиях низкого вакуума.
Такая методика совместима с технологией микроэлектроники, что позволяет снизить издержки на производстве и повысить его технологичность. Методом вакуум-термического испарения (ВТИ) возможно получать слои черного алюминия на любых подложках, включая диэлектрические, без использования дополнительных подслоев. Данная особенность выгодно выделяет ВТИ в сравнении с электрохимическими методами, где необходим проводящий слой (катализатор) для формирования функциональных слоев. Помимо этого, исключаются загрязнения электролитом и внесение структурных изменений в приповерхностные слои подложки. Получаемые слои имеют высокую стабильность, низкий коэффициент отражения и высокое поглощение в ИК-области спектра.
Для повышения эффективности ИК-излучателей применяются материалы, которые имеют высокий коэффициент поглощения в требуемой области спектра. В работе [5] представлено получение слоя, эквивалентного модели излучения абсолютно черного тела. Исследователями были получены слои черной платины методом электрохимического синтеза. Черная платина обладает высоким коэффициентом поглощения в широком диапазоне длин волн, включая ИК-область спектра. Другим примером является работа [6], где демонстрируется многослойная система, состоящая из слоев Ag / ZnS / Si / Ag / Si. Такая система селективно поглощает излучение в диапазоне от 3 до 5 мкм и от 8 до 14 мкм с переизлучением в диапазоне от 5 до 8 мкм.
В данной работе приведена методика формирования слоев черного алюминия методом вакуум-термического испарения. Была получена зависимость толщины слоя от количества нанесенного материала, исследована термостабильность материала и проведены исследования зависимости поглощения ИК-спектра падающего излучения от толщины слоя.
Методики формирования и измерения
Формирование слоя черного алюминия осуществлялось методом вакуум-термического испарения (ВТИ) на установке УРМ‑3279011. В качестве испарителя применялись вольфрамовые стержни длиной 10 см и толщиной 2 мм. Электроды закреплялись вплотную друг к другу в водоохлаждаемые тоководы. В качестве испаряемого материала использовался гранулированный алюминий чистотой 99,99%. Навеска алюминия массой 100 мг помещалась в центр испарителя. Формирование слоя черного алюминия производилось на монокристаллическую кремниевую пластину (100) односторонней полировки со слоем SiO2 толщиной порядка 600 нм. Подложкодержатель с образцами закреплялся над центром испарителей на расстоянии 30 см. Процесс испарения навески проводился при остаточном давлении в камере 5 × 10–2 Торр. Схема установки УРМ‑3279011 представлена на рис. 1.
Измерение поглощения образцов проводилось на ИК-Фурье спектрометре ФСН‑2201 (Инфраспек, Россия) с приставкой зеркального отражения с углом падения излучения 30° в диапазоне от 390 до 4 500 см−1 с шагом 0,1 см−1. Для снятия одного спектра проводилось 10 измерений. Перед каждым измерением снимался спектр сравнения с использованием золотого зеркала. Золотое зеркало было выбрано в качестве эталонного зеркала для ИК-излучения.
Термическая стабильность слоев исследовалась путем нагрева в муфельной печи в воздушной атмосфере. Измерялось поглощение образцов до нагрева и после нагрева. Образцы нагревались до 100 °C со скоростью 600 °C/ч, затем температура выдерживалась в течение 10 минут и из партии изымался один образец. Далее оставшиеся образцы помещались обратно в муфельную печь и нагревались до 200 °C. Цикл повторялся до температуры 800 °C включительно.
Исследование морфологии поверхности образцов производилось на сканирующем электронном микроскопе JEOL JSM 6010plus/la (JEOL Ltd, Япония). Ток пучка составлял 21 пА, ускоряющее напряжение 5 кВ.
Результаты и обсуждения
Исследование поглощения ИК-спектра черным алюминием было проведено на двух группах образцов. В первой группе образцов черный алюминий формировался на полированной стороне кремниевой пластины. Во второй группе формирования слоя покрытия осуществлялось на неполированной стороне. Для каждой группы изготавливалось по 6 образцов, отличающихся количеством операций напыления. Напыления слоев проводились последовательно равными по массе порциями алюминия. С увеличением количества напылений наблюдается рост толщины слоя. При этом зависимость имеет линейный характер. На рис. 2 представлены РЭМ-снимки получаемых слоев после одного и трех процессов напылений толщиной 225 и 780 нм соответственно. На изображениях видно, что полученные слои имеют высокоразвитую морфологию поверхности.
На рис. 3 представлены спектры отражения группы образцов на гладкой стороне кремниевой пластины. Видно, что с увеличением толщины слоя растет общее среднее поглощение. Наибольшее уменьшение интенсивности отраженного ИК-спектра наблюдается после четвертого напыления в диапазоне от 1 850 до 4 500 см−1. Наличие пиков в диапазонах от 1 300 до 1 900−1 и от 3 700 до 3 600–1 можно объяснить адсорбированными газами (СО2) и водой (ОН-группы) на развитой поверхности поглощающего слоя образцов [7]. Пики в районе 2 200–2 400 см−1 характерны для CO2 в воздухе.
Спектры отраженного ИК-излучения, полученные на черном алюминии, сформированным на неполированной поверхности кремниевой подложки, представлены на рис. 4.
Основное отличие от группы образцов на полированной подложке заключается в значительно меньшей интенсивности отраженного излучения. При этом после третьего процесса нанесения слоя черного алюминия увеличение интенсивности поглощения происходит незначительно. Стоит отметить поглощение образцами на неполированной поверхности ИК-излучения в длинноволновой области спектра. Это видно по графику зависимости отражения спектра на 800 см−1 от количества испарений на полированной и неполированной поверхности подложек (рис. 5).
Было исследовано изменение интенсивности отраженного ИК-излучения покрытий образцов после их нагрева. Результаты экспериментов показали, что после операции нагрева, проводимой на воздухе, образцы с покрытием из черного алюминия изменяли свой цвет после достижения температуры величины выше 400 °C. На рис. 6 продемонстрирована хорошо заметная разница в цвете двух образцов, один из которых не прошел операцию нагрева, а другой – нагревали до 800 °C. Образец, который не подвергали нагреву, имеет характерный черный цвет. Это свидетельствует о хорошем поглощении в видимом диапазоне спектра. После нагрева образца пленка черного алюминия приобретает серый цвет.
Исследование влияния температуры нагрева на изменение спектра ИК-поглощения (рис. 7) показало, что спектры поглощения незначительно изменялись при нагреве в диапазоне температурах от 100 до 300 °C. Выше 400 °C наблюдалось уменьшение поглощения в диапазоне от 1 000 см−1 до 2 850 см−1. Далее, с увеличением температуры нагрева, происходило увеличение поглощения в длинноволновой области (от 350 до 1 900 см−1) и увеличение отражения в ближнем ИК-спектре. Такое резкое изменение характера поглощения ИК-спектра может быть обусловлено либо появлением фазового перехода [8], либо изменением морфологии образца.
На рис. 8 представлены РЭМ-изображения слоев до и после операций нагрева до 500 °C. Как видно из рисунка, изменение морфологии поверхности не наблюдается, что может говорить в пользу изменения фазы оксида алюминия. При этом наличие такого эффекта может оказывать положительное влияние из-за роста поглощения в области среднего ИК-излучения.
Выводы
Результаты, полученные в ходе проведенных исследований, позволяют утверждать о наличии потенциала пригодности покрытия в виде слоя черного алюминия, полученного методом вакуум-термического испарения, в качестве эмиссионного покрытия в ИК-излучателях. Данная технология позволяет получать слои различной толщины в диапазоне от 0,2 мкм до 10 мкм в процессе формирования ИК-излучателей. Слои черного алюминия продемонстрировали достаточно хороший уровень поглощение интенсивности среднего ИК-диапазона (84%) и высокую температурную стабильность. Работа будет продолжена и будет направлена на исследование эмиссионных свойств пленок черного алюминия, сформированного на микронагревателе, изготовленного по МЭМС-технологии.
Благодарности
Настоящая статья подготовлена при финансовой поддержке Министерства образования и науки Российской Федерации в рамках выполнения НИР FNRM‑2022-0009.
REFERENCES
Cai L, E J, Li J, Ding J, Luo B. A comprehensive review on combustion stabilization technologies of micro/meso-scale combustors for micro thermophotovoltaic systems: Thermal, emission, and energy conversion. Fuel. 2023;335:126660. https://doi.org/10.1016/j.fuel.2022.126660.
Carstens S, Meyer R, Enke D. Towards Macroporous α-Al2O3—Routes, Possibilities and Limitations. Materials. 2020;13:1787. https://doi.org/10.3390/ma13071787.
He Z, Yan Y, Zhao T, Zhang Z, Mikulčić H. Parametric study of inserting internal spiral fins on the micro combustor performance for thermophotovoltaic systems. Renewable and Sustainable Energy Reviews. 2022;165:112595. https://doi.org/10.1016/j.rser.2022.112595.
Hu J, Li Y, Zhen Y, Chen M, Wan H. n situ FTIR and ex situ XPS/HS-LEIS study of supported Cu / Al2O3 and Cu / ZnO catalysts for CO2 hydrogenation. Chinese Journal of Catalysis. 2021;42:367–75. https://doi.org/10.1016/S1872-2067(20)63672-5.
Qian M., Shi Q., Qin L., Huang J., Guo C., Liu Y. et al. Fabrication of Selective Thermal Emitter with Multilayer Films for Mid-/Low-Temperature Infrared Stealth with Radiative Cooling. Photonics. 2023;10:645. https://doi.org/10.3390/photonics10060645.
Stanca S. E., Hänschke F., Ihring A., Zieger G., Dellith J., Kessler E. et al. Chemical and Electrochemical Synthesis of Platinum Black. Sci. Rep. 2017;7:1074. https://doi.org/10.1038/s41598-017-01040-8.
Zhou Z., Huang J. Mixed design of radar/infrared stealth for advanced fighter intake and exhaust system. Aerospace Science and Technology. 2021;110:106490. https://doi.org/10.1016/j.ast.2021.106490.
Zhu H., Li Q., Tao C., Hong Y., Xu Z., Shen W. et al. Multispectral camouflage for infrared, visible, lasers and microwave with radiative cooling. Nat. Commun. 2021;12:1805. https://doi.org/10.1038/s41467-021-22051-0.
АВТОРЫ
А. М. Тарасов, инж. ПМТ НИУ МИЭТ, Москва, Зеленоград, Россия.
ORCID: 0000-0003-3648-8717
Д. В. Новиков, инж. ПМТ НИУ МИЭТ, Москва, Зеленоград, Россия.
ORCID: 0000-0002-9518-1208
Д. В. Горелов, нач. НИЛ ИОМС НПК «Технологический центр», Москва, Зеленоград, Россия.
ORCID: 0000-0002-0887-9406
С. С. Генералов, нач. НИЛ НМЭМС НПК «Технологический центр», Москва, Зеленоград, Россия.
ORCID: 0000-0002-7455-7800
В. В. Амеличев, к. т. н., нач. МСТ НПК «Технологический центр», Москва, Зеленоград, Россия.
ORCID: 0000-0002-4204-2626
Вклад авторов
Статья подготовлена на основе работы всех членов авторского коллектива: А. М. Тарасов – проведение экспериментов, измерений, анализ собранных данных, обработка и обсуждение результатов; Д. В. Новиков – проведение экспериментов, измерений, анализ собранных данных, обработка и обсуждение результатов; Д. В. Горелов – организация работы, поиск и перевод иностранных источников, обсуждение результатов; С. С. Генералов – организация работы, обсуждение результатов; В. В. Амеличев – организация работы, обсуждение результатов.
Конфликт интересов
Авторы заявляют об отсутствии конфликта интересов. Все авторы приняли участие в написании рукописи в части вклада каждого из них в работу и согласны с полным текстом рукописи.
Отзывы читателей
